宝虹科技股份有限公司吕理宏获国家专利权
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龙图腾网获悉宝虹科技股份有限公司申请的专利模块化的原子层沉积制程设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223280933U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421912821.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型模块化的原子层沉积制程设备是由吕理宏;蔡龙泉;游克强;余兴政设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本模块化的原子层沉积制程设备在说明书摘要公布了：一种模块化的原子层沉积制程设备，包括一制程载架、一传送载架、一制程腔体、一或多个原子层沉积模块及一搬移载具。该制程载架包括多个沿着一高度方向排列设置的第一架体及多个分别由该第一架体限定出的第一放置空间。该传送载架包括多个第二架体及多个分别由该第二架体限定出的第二放置空间。该制程腔体用以放置一基板且可移动地放置于该制程载架上任一个该第一放置空间或该传送载架上任一个该第二放置空间。该原子层沉积模块供该制程腔体对该基板进行一原子层沉积制程。该搬移载具在该第一放置空间与该第二放置空间之间移转该制程腔体。
本实用新型模块化的原子层沉积制程设备在权利要求书中公布了：1.一种模块化的原子层沉积制程设备，其特征在于，包括： 一制程载架，包括多个在一平面上排列布置的架体单元，各个架体单元分别包括多个沿着一高度方向排列设置的第一架体及多个分别由该第一架体限定出的第一放置空间； 一传送载架，包括多个第二架体以及多个分别由该第二架体限定出的第二放置空间； 一制程腔体，用以放置一待进行原子层沉积的基板，该制程腔体可移动地放置于该制程载架上任一个该第一放置空间或该传送载架上任一个该第二放置空间； 一或多个原子层沉积模块，可拆卸地耦接至位于该第一放置空间之中的该制程腔体，供该制程腔体对该基板进行一原子层沉积制程；以及 一搬移载具，在该第一放置空间与该第二放置空间之间移转该制程腔体； 其中，该制程腔体在该制程载架的该第一放置空间完成该原子层沉积制程后被该搬移载具移转至该传送载架的该第二放置空间。
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