中国科学院合肥物质科学研究院蒋才超获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利一种大功率射频离子源保护系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118737781B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410891112.4，技术领域涉及：H01J27/02；该发明授权一种大功率射频离子源保护系统是由蒋才超;齐麒;崔庆龙;刘波;潘军军;陈世勇;刘智民;刘胜;谢远来设计研发完成，并于2024-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大功率射频离子源保护系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种大功率射频离子源保护系统，涉及射频离子源技术领域。通过对反应射频离子源等离子体放电状态的的驻波信号和功率反射信号进行处理，并与设定的保护阈值进行比较，从而可判定出在非正常放电下需要发出的保护信号，进而关闭射频功率输出，中止等离子体放电，达到保护离子源和功率源的目的。同时，在等离子体建立的初始时刻，由于阻抗匹配从失配进入匹配的过程中会引起驻波和反射信号的突变，本发明的保护系统设计了一个盲区，用于在该时刻来屏蔽保护信号的发出，从而避免等离子体无法正常激发。本发明不仅提升了射频离子源工作时的安全性，还有效地保障了射频离子源的高效持久运行。
本发明授权一种大功率射频离子源保护系统在权利要求书中公布了：1.一种大功率射频离子源保护系统，其特征在于，包括集成在电路板上的信号接口模块、信号处理模块、控制器模块、光纤通信模块、上位机模块，其中，驻波信号和反射信号作为输入信号通过信号接口模块输入保护系统，经由信号处理模块进行分压和滤波后输入控制器模块中，由控制器模块实时监测输入信号的电压幅值，将输入信号的电压幅值与控制器模块的程序中设定的保护信号阈值进行比较，若输入信号的电压幅值小于保护信号阈值，说明系统正常，不作任何处理；若输入信号的电压幅值大于等于保护信号阈值，则控制器模块输出保护信号停止射频离子源运行；所述控制器模块还包括设置监测盲区时间，且在监测盲区时间内对输入的驻波信号和反射信号加以屏蔽，不输出保护信号； 控制器模块通过光纤通信模块实现与上位机模块的长距离通信，所述上位机模块通过图形用户界面实现数据可视化，提供用户交互界面，允许操作人员监视系统状态、查看实时数据和历史记录、配置系统设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院合肥物质科学研究院，其通讯地址为：230031 安徽省合肥市庐阳区三十岗乡古城路181号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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