青岛方益技术有限公司张哲玮获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛方益技术有限公司申请的专利一种半导体清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223276784U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421352792.4，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种半导体清洗设备是由张哲玮;朱亚楠设计研发完成，并于2024-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体清洗设备在说明书摘要公布了：本申请属于半导体技术领域，提供一种半导体清洗设备，包括盒体分离部、干洗部和湿洗部，盒体分离部用于将待洗试件的盒盖和底座分离，干洗部中设置有紫外辐射装置、第一输入口和第二输入口，紫外辐射装置用于产生紫外光以照射待洗试件，第一输入口用于通入臭氧以对待洗试件表面的有机杂质进行氧化分解，第二输入口用于通入冷却剂以冷却固化反应后的杂质，湿洗部用于提供清洗液以对反应且冷却固化的杂质进行清洗；本申请的半导体清洗设备有效地提高了清洗效率和清洗效果，降低了由于待洗试件洁净度不足影响半导体加工制造过程的风险。
本实用新型一种半导体清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗设备，用于清洗待洗试件，所述待洗试件包括底座以及盖合所述底座的盒盖，其特征在于，包括： 盒体分离部，用于将所述待洗试件的盒盖和底座分离； 干洗部，所述干洗部内间隔设置有紫外辐射装置、第一输入口、第二输入口，所述第一输入口用于通入臭氧，所述紫外辐射装置用于产生紫外光以照射所述待洗试件，所述第二输入口用于通入冷却剂，所述干洗部包括第二阀门、第二传输管和第三阀门，所述第二传输管用于传输所述冷却剂，所述第二阀门和所述第三阀门均连接至所述第二传输管，所述第三阀门位于所述第二阀门与所述第二输入口之间； 湿洗部，用于提供清洗液以对所述待洗试件进行清洗。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人青岛方益技术有限公司，其通讯地址为：266426 山东省青岛市自由贸易试验区青岛片区太白山路172号中德生态园双创中心6671室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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