嘉庚创新实验室薛晨阳获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉庚创新实验室申请的专利掩膜模具、管内铂电极成型方法及电导率传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117026199B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310992942.1,技术领域涉及:C23C16/06;该发明授权掩膜模具、管内铂电极成型方法及电导率传感器是由薛晨阳;张增星;高立波;郑建毅;郭玉真设计研发完成,并于2023-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩膜模具、管内铂电极成型方法及电导率传感器在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种掩膜模具、管内铂电极成型方法及电导率传感器,用于在目标圆管的内壁形成铂电极,目标圆管设有多个圆环凹槽和多个通孔;掩膜模具包括刚性轴体和多个圆环套,刚性轴体上沿其轴向依次间隔设置多个圆柱形凸缘部,多个圆环套和多个圆柱形凸缘部数量相等、且一一对应地设置,圆环套套设于其所对应的圆柱形凸缘部的圆柱面上;在掩膜模具嵌入于目标圆管时,多个圆环套和多个圆环凹槽沿目标圆管的轴向依次交替分布;多个圆环套在第一温度下和目标圆管的内壁间隙配合,而在预设沉积温度下热膨胀而和目标圆管的内壁过盈连接、以遮挡目标圆管的内壁上未设有圆环凹槽的区域,第一温度小于预设沉积温度。
本发明授权掩膜模具、管内铂电极成型方法及电导率传感器在权利要求书中公布了:1.一种掩膜模具,其特征在于,用于在目标圆管的内壁形成铂电极,所述目标圆管上设有多个圆环凹槽和多个通孔,所述多个圆环凹槽沿所述目标圆管的轴向依次间隔设置于所述目标圆管的内壁上,所述多个通孔和所述多个圆环凹槽数量相等、且一一对应地连通; 所述掩膜模具包括刚性轴体和多个圆环套,所述刚性轴体上沿其轴向依次间隔设置多个圆柱形凸缘部,所述多个圆环套和所述多个圆柱形凸缘部数量相等、且一一对应地设置,所述圆环套套设于其所对应的圆柱形凸缘部的圆柱面上; 在所述掩膜模具嵌入于所述目标圆管时,所述多个圆环套和所述多个圆环凹槽沿所述目标圆管的轴向依次交替分布;所述多个圆环套在第一温度下和所述目标圆管的内壁间隙配合,而在预设沉积温度下热膨胀而和所述目标圆管的内壁过盈连接、以遮挡所述目标圆管的内壁上未设有所述圆环凹槽的区域,所述第一温度小于所述预设沉积温度。
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