浙江奥首材料科技有限公司侯军获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江奥首材料科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆金属电极保护液、其制备方法与用途获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116875983B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310768833.1，技术领域涉及：C23F11/10；该发明授权一种半导体晶圆金属电极保护液、其制备方法与用途是由侯军;任浩楠;吕晶;申海艳;隋新设计研发完成，并于2023-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆金属电极保护液、其制备方法与用途在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体晶圆金属电极保护液、其制备方法与用途，所述半导体晶圆金属电极保护液包括重量配比如下的各组分：聚合物0.1‑5份；肟类化合物0.05‑1份；pH调节剂0.1‑5份；润湿剂0.1‑3份；醇类10‑25份；去离子水60‑90份。本发明还公开了所述半导体晶圆金属电极保护液的制备方法及其在半导体晶圆制造清洗领域的用途。本发明半导体晶圆金属电极保护液具有优异的保护性和稳定性，可在半导体晶圆经过剥离液清洗后直接使用，有效地保护金属电极，提高半导体器件的性能和可靠性，且清洗后无残留。
本发明授权一种半导体晶圆金属电极保护液、其制备方法与用途在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆金属电极保护液，其特征在于，包括重量配比如下的各组分： 聚合物0.1-5份； 肟类化合物0.05-1份； pH调节剂0.1-5份； 润湿剂0.1-3份； 醇类10-25份； 去离子水60-90份； 所述聚合物为均聚氨基酸和或氨基酸PEG交联聚合物； 所述肟类化合物为丙酮肟、1,2-环已二酮二肟、二甲基乙二醛肟、水杨醛肟、乙醛肟、丁酮肟、乙二肟、丁脒肟、香草肟、糠醛肟和丙醛肟中的一种或几种； 所述润湿剂为炔醇类化合物； 所述半导体晶圆金属电极保护液的pH为6.5-7.5。
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