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中电环宇(北京)建设工程有限公司王新河获国家专利权

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龙图腾网获悉中电环宇(北京)建设工程有限公司申请的专利一种用于半导体厂房的洁净室获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116379543B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310369655.5,技术领域涉及:F24F8/108;该发明授权一种用于半导体厂房的洁净室是由王新河;王宁;吴凯龙;刘增树;许颖超;张海强;李旭光设计研发完成,并于2023-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于半导体厂房的洁净室在说明书摘要公布了:本申请公开了一种用于半导体厂房的洁净室,属于洁净室的技术领域,其包括洁净工作室,所述洁净工作室包括用于高精度加工的洁净工作区以及用于半导体前制程加工的加工服务区,所述洁净工作区与所述加工服务区之间设置有分隔区,所述分隔区内间隔设置有挡帘,所述挡帘沿所述分隔区的长度方向布置,相邻所述挡帘相互远离的两侧均设置有用于过滤空气的过滤组件,所述过滤组件包括沿所述分隔区间隔布置的第一过滤网以及第二过滤网,所述洁净工作区与所述加工服务区内均设置有用于输送洁净空气的第一通风系统,所述分隔区设置有用于输送洁净空气的第二通风系统。本申请具有提高洁净室内的空气洁净度的效果。

本发明授权一种用于半导体厂房的洁净室在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体厂房的洁净室,包括洁净工作室1,所述洁净工作室1包括用于高精度加工的洁净工作区11以及用于半导体前制程加工的加工服务区12,所述洁净工作区11与所述加工服务区12之间设置有分隔区13,其特征在于:所述分隔区13内间隔设置有挡帘2,所述挡帘2沿所述分隔区13的长度方向布置,相邻所述挡帘2相互远离的两侧均设置有用于过滤空气的过滤组件3,所述过滤组件3包括沿所述分隔区13间隔布置的第一过滤网33以及第二过滤网34,所述洁净工作区11与所述加工服务区12内均设置有用于输送洁净空气的第一通风系统4,所述分隔区13设置有用于输送洁净空气的第二通风系统6; 所述过滤组件3还包括间隔安装于所述分隔区13内的第一导向架31以及第二导向架32,所述第一导向架31沿自身长度方向滑动设置有多个用于安装所述第一过滤网33的第一定位框35,所述第二导向架32沿自身长度方向滑动设置有多个用于安装所述第二过滤网34的第二定位框36,且所述第一过滤网33与所述第二过滤网34相邻的侧边重叠; 所述洁净工作室1的内顶面上安装有吊顶板14,所述洁净工作室1的内底面上设置有基座15,所述吊顶板14上开设有第一安装槽16,所述基座15上开设有用于与所述第一安装槽16相对应的第二安装槽17,所述第一导向架31包括安装于所述第一安装槽16内端面上的第一导向杆311以及安装于所述第二安装槽17内端面上的第二导向杆312,所述第二导向架32包括安装于所述第一安装槽16内端面上的第三导向杆321以及安装于所述第二安装槽17内端面上的第四导向杆322,所述第一导向杆311与所述第三导向杆321并排布置,所述第二导向杆312与所述第四导向杆322并排布置; 所述洁净工作区11以及所述加工服务区12内均设置有多个用于分隔空间的分隔组件5,所述分隔组件5包括安装于所述基座15上的横向板51以及固定连接于所述横向板51上的纵向板52,所述横向板51与所述纵向板52的长度方向相互垂直; 所述第一通风系统4包括设置于所述吊顶板14内的排风箱41以及用于与高压气源相连通的通风管42,所述通风管42与所述排风箱41相连通,所述排风箱41内间隔安装有第一出风管43、第二出风管44,所述第一出风管43、第二出风管44上均安装有用于过滤空气的化学过滤器45,所述第一出风管43的内底面开设有用于朝向靠近所述分隔区13方向吹风的第一排风孔46,所述第二出风管44的内底面开设有用于朝向背离所述分隔区13方向吹风的第二排风孔47; 所述基座15位于所述洁净工作区11以及所述加工服务区12的部分上开设有换气空腔19,所述换气空腔19的内顶面上开设有换气孔191,且所述纵向板52内开设有用于与所述排风箱41相连通的贯穿通道53,且所述贯穿通道53与所述换气空腔19相连通; 所述通风管42上设置有多个用于连通所述排风箱41的连通管48,所述纵向板52位于所述排风箱41内的端部上固定连接有挡风板54,所述挡风板54与所述连通管48一一对应,所述纵向板52位于排风箱41内的端部两侧连通有出气管55,所述出气管55倾斜布置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中电环宇(北京)建设工程有限公司,其通讯地址为:100089 北京市海淀区羊坊店路18号1幢11层1115;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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