林君明获国家专利权
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龙图腾网获悉林君明申请的专利包含磷铜合金的导电结构及所述导电结构的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116779585B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310239468.5,技术领域涉及:H01L23/528;该发明授权包含磷铜合金的导电结构及所述导电结构的制备方法是由林君明设计研发完成,并于2023-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本包含磷铜合金的导电结构及所述导电结构的制备方法在说明书摘要公布了:本揭示内容提出一种多层布线结构,包含复数个介电层、与这些介电层交错的复数个导电布线层,其中这些导电布线层包含磷铜合金例如Cu3P。
本发明授权包含磷铜合金的导电结构及所述导电结构的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种多层布线结构,包含: 复数个层压层;以及 复数个导电布线层,与所述复数个层压层交错,其中所述复数个导电布线层包含磷铜合金,其中所述磷铜合金中的磷成分介于13.98%至14.39%, 其中,所述复数个导电布线层进一步包含锯齿状导线,其具有至少两个相邻突起以及位于所述至少两个相邻突起之间的气隙, 其中所述复数个导电布线层其中之一者包含铜层与由所述磷铜合金形成的磷铜合金层,所述磷铜合金暴露于所述气隙,并且所述磷铜合金层介于所述铜层与所述气隙之间以使所述铜层与所述气隙隔绝。
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