上海精测半导体技术有限公司罗浒获国家专利权
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龙图腾网获悉上海精测半导体技术有限公司申请的专利带电粒子束装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116110767B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211655238.9，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权带电粒子束装置及其控制方法是由罗浒;张旭设计研发完成，并于2022-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本带电粒子束装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种带电粒子束装置及其控制方法，带电粒子束装置包括：粒子源，用于释放带电粒子束；显微镜柱，包括：物镜，用于对所述带电粒子束进行聚焦；成像系统，用于拍摄样品，以获得所述样品表面的高度信息以及平面信息；运动台，用于承载并带动所述样品运动；控制单元，响应于所述运动台带动样品运动，以根据所述样品表面的高度信息以及平面信息，补偿所述物镜的焦距和或控制所述样品与所述显微镜柱之间的距离。本申请实现带电粒子束装置的自动聚焦和或带电粒子束装置及样品保护。
本发明授权带电粒子束装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子束装置，其特征在于，包括： 粒子源，用于释放带电粒子束； 显微镜柱，包括物镜以及位于所述物镜和样品之间的部件，所述物镜用于对所述带电粒子束进行聚焦； 成像系统，用于拍摄样品，以获得所述样品表面的高度信息以及平面信息； 运动台，用于承载并带动所述样品运动； 控制单元，响应于所述运动台带动样品运动，以根据所述样品表面的高度信息以及平面信息，补偿所述物镜的焦距和控制所述样品与所述部件之间的距离以实现防撞；或者，以根据所述样品表面的高度信息以及平面信息，控制所述样品与所述部件之间的距离以实现防撞。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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