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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于全固态随机相位环形光源的低噪声斐索干涉测试装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115773724B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211623119.5，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种基于全固态随机相位环形光源的低噪声斐索干涉测试装置及方法是由刘东;李欣明;彭韶婧;徐兆锐设计研发完成，并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于全固态随机相位环形光源的低噪声斐索干涉测试装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于全固态随机相位环形光源的低噪声斐索干涉测试装置及方法，主要包括激光器、显微物镜、针孔滤波器、准直镜组、轴锥镜、聚焦镜组、分束器、空间光调制器、对准相机等构成的全固态随机相位环形光源模块，以及斐索干涉测试模块。本发明的装置及方法，能够通过全固态随机相位环形光源模块，降低斐索干涉测试中光学元件表面缺陷和灰尘颗粒等产生的相干噪声的影响，提高干涉仪的中频传递能力，实现对平面光学元件面形的低噪声、高精度测量，并可适配球面测量；同时具有点光源工作模式，可适配球面、非球面、自由曲面测量和瞬态测量；装置还避免了机械运动组件的使用，提高了可靠性和稳定性。

本发明授权一种基于全固态随机相位环形光源的低噪声斐索干涉测试装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于全固态随机相位环形光源的低噪声斐索干涉测试装置，其特征在于，包括全固态随机相位环形光源模块和斐索干涉测试模块； 所述的全固态随机相位环形光源模块包括：激光器、显微物镜、针孔滤波器、第一准直镜组、轴锥镜、导轨、聚焦镜组、第一分束器、空间光调制器、中性密度滤光片和对准相机；激光从激光器出射，通过显微物镜聚焦到针孔滤波器上完成空间滤波；滤波后形成的点光源通过第一准直镜组准直为平行光，通过轴锥镜生成贝塞尔光束；光束通过聚焦镜组和第一分束器后，透射光束在空间光调制器上聚焦成为环形光源，反射光束经过中性密度滤光片进行光强衰减，聚焦到对准相机上以辅助装调；轴锥镜安装于导轨上，通过导轨移出或移入光路，以实现点光源模式和环形光源模式的切换； 所述的斐索干涉测试模块包括：第二分束器、第二准直镜组、标准透射平晶、被测平面、成像镜组和成像相机；全固态随机相位环形光源模块提供的随机相位环形光源从空间光调制器出射，由第一分束器反射进入斐索干涉测试模块，透射经过第二分束器后，由第二准直镜组准直成为平行光，照射到标准透射平晶和被测平面上并分别发生反射；两束反射光相干叠加，形成干涉条纹，经第二分束器反射折转至成像光路，由成像镜组将干涉条纹成像到成像相机上。

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