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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第十三研究所申请的专利一种磷化铟多晶合成的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115896946B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211562684.5，技术领域涉及：C30B29/40；该发明授权一种磷化铟多晶合成的方法是由林朋;杨鹏;付莉杰;孙聂枫;史艳磊;王书杰;秦敬凯设计研发完成，并于2022-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磷化铟多晶合成的方法在说明书摘要公布了：一种磷化铟多晶合成的方法，属于半导体技术领域，包括：将坩埚内的铟加热形成熔体；打开冷凝器；将磷加热气化，气化的磷蒸气进入坩埚中的熔体，与铟化合反应生成磷化铟；溢出熔体的磷蒸气与冷凝器发生热交换，凝结成液滴，流入液磷输送管；液磷输送管内的液态磷液面逐渐增加到一定高度时，封堵打开，液磷流入到石英磷容器中；反应完成后，停止加热器和磷加热器工作，降至室温，拆分装置，取出坩埚。本发明采用冷凝技术将逃逸的磷蒸气回收后继续参与反应，大大提高原材料的利用率；提高单次多晶的合成量，大幅提高合成效率；逃逸的磷蒸气回收利用，省去了了繁琐的炉子清洗过程；可以实现装填一次磷，多次合成磷化铟。

本发明授权一种磷化铟多晶合成的方法在权利要求书中公布了：1.一种磷化铟多晶合成的方法，基于具有磷回收装置的磷化铟合成设备实现，所述磷化铟合成设备包括设置在底部的石英磷容器（3）、设置在石英磷容器（3）外围的磷加热器（1）、连接石英磷容器（3）的坩埚（8）、设置在坩埚（8）外围的加热器（9），其特征在于：所述坩埚（8）底部设置微米级孔洞（10），所述磷化铟合成设备还包括磷回收装置，包括位于坩埚（8）上方的冷凝器（6）、与冷凝器（6）相对设置的液磷通道、液磷通道尽头的液磷输送管（5），液磷输送管（5）连通冷凝器（6）附近的空间和石英磷容器（3），在液磷输送管（5）底部开口处设置封堵（4）；所述液磷通道为倾斜通道（13），倾斜通道（13）将液态磷汇聚至液磷输送管（5）的上开口；所述液磷输送管（5）外围设置液态磷加热器（11）； 所述方法包括以下步骤： 1.1、装铟：对铟进行表面清洗烘干，装入坩埚（8）； 1.2、装磷：将红磷装入石英磷容器（3）； 1.3、装配：将坩埚（8）和石英磷容器（3）装配在一起； 1.4、合成： 1.4.1、将坩埚（8）内的铟加热至铟熔化形成熔体，加热温度为高于铟的熔点10-20℃； 1.4.2、打开冷凝器（6），通入循环冷却液； 1.4.3、将石英磷容器（3）内的磷加热气化，加热温度为高于磷化铟的熔点10-20℃；气化的磷蒸气经过坩埚（8）底部的微米级孔洞（10）进入坩埚（8）中的熔体，与铟化合反应生成磷化铟； 1.4.4、溢出熔体的磷蒸气与冷凝器（6）发生热交换，凝结成液滴，流入液磷输送管（5）； 1.4.5、液磷输送管（5）内的液态磷液面逐渐增加，增加到一定高度时，封堵（4）因液磷的压力而打开，液磷流入到石英磷容器（3）中； 1.4.6、反应完成后，停止加热器（9）和磷加热器（1）工作，降至室温，拆分装置，取出坩埚（8）。

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