之江实验室王乔获国家专利权
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龙图腾网获悉之江实验室申请的专利全刻蚀偏振无关紧凑亚波长光栅结构及其耦合器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116299852B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211551022.8,技术领域涉及:G02B6/124;该发明授权全刻蚀偏振无关紧凑亚波长光栅结构及其耦合器是由王乔;马蔚设计研发完成,并于2022-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本全刻蚀偏振无关紧凑亚波长光栅结构及其耦合器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种全刻蚀偏振无关紧凑亚波长光栅结构及其耦合器,该亚波长光栅结构通过以下方法制备获得:采用旋转亚波长结构,并采用逆向设计方法对拓扑结构进行优化,横电模式光与横磁模式光均沿x轴传播;y轴方向,每个周期的单元亚波长结构的周期长度py和占空比fy相等,构成单元亚波长阵列结构;x轴方向,每个周期的单元亚波长阵列结构的周期长度px和占空比fx不同,且存在不同的旋转角度,使单元亚波长阵列结构在横电模式光与横磁模式光下的等效折射率近似相等,以实现光栅耦合的偏振无关;采取坐标变换方式将原有矩形结构的亚波长光栅结构转换为扇形。本发明有效地降低了光栅器件的耦合损耗和尺寸,能够实现光栅耦合器的偏振无关。
本发明授权全刻蚀偏振无关紧凑亚波长光栅结构及其耦合器在权利要求书中公布了:1.一种全刻蚀偏振无关紧凑亚波长光栅结构,其特征在于,所述亚波长光栅结构102通过以下方法设计获得:采用旋转亚波长结构,并采用逆向设计方法对拓扑结构进行优化,横电模式光与横磁模式光均沿x轴传播;在y轴方向上,每个周期的单元亚波长结构的第一周期长度py和第一占空比fy相等,构成单元亚波长阵列结构;在x轴方向上,每个周期的单元亚波长阵列结构的第二周期长度px和第二占空比fx不同,且存在不同的旋转角度α,使单元亚波长阵列结构在横电模式光与横磁模式光下的等效折射率相差-10%~10%,以实现光栅耦合的偏振无关;采取坐标变换方式将原有的矩形结构的亚波长光栅结构102转换为扇形结构。
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