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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利一种传感器故障检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115808228B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211493795.5，技术领域涉及：G01F25/20；该发明授权一种传感器故障检测方法及系统是由杨春涛;张坤;杨春水设计研发完成，并于2022-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种传感器故障检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种传感器故障检测方法及系统，该方法包括：根据半导体废气处理装置的冷却水箱中各个液位传感器的安装位置信息，获取各个所述液位传感器对应的预设液位信号判断信息和预设故障检测条件；基于不同类型的所述预设故障检测条件，采集对应的所述液位传感器产生的触发信号；根据所述触发信号的采集结果和所述预设液位信号判断信息，确定各个所述液位传感器的故障检测结果。本发明通过冷却水箱中各个液位传感器的安装位置信息，采用对应的预设液位信号判断信息和预设故障检测条件，对不同安装位置的液位传感器故障判断，从而有效且准确的实现对液位传感器的故障情况进行检测，提高半导体废气处理装置的稳定性和安全。

本发明授权一种传感器故障检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种传感器故障检测方法，其特征在于，包括： 根据半导体废气处理装置的冷却水箱中各个液位传感器的安装位置信息，获取各个所述液位传感器对应的预设液位信号判断信息和预设故障检测条件； 基于不同类型的所述预设故障检测条件，采集对应的所述液位传感器产生的触发信号； 根据所述触发信号的采集结果和所述预设液位信号判断信息，确定各个所述液位传感器的故障检测结果； 所述冷却水箱中的各个液位传感器是根据所述安装位置信息中的液位检测高度从低到高进行设置的，依次为第一液位传感器、第二液位传感器、第三液位传感器和第四液位传感器； 其中，当所述液位传感器的液位检测功能正常的情况下，所述冷却水箱中的液位高度到达所述第三液位传感器的感应区高度时，所述冷却水箱开始排水，并在所述冷却水箱中的液位高度低于所述第二液位传感器的感应区高度后，所述冷却水箱停止排水并开始进水，直到所述冷却水箱的液位高度再次到达所述第三液位传感器的感应区高度； 所述根据半导体废气处理装置的冷却水箱中各个液位传感器的安装位置信息，获取各个所述液位传感器对应的预设液位信号判断信息和预设故障检测条件，包括： 若所述液位传感器为所述第一液位传感器，将所述第二液位传感器确定为故障状态的判定时刻作为所述第一液位传感器的预设故障检测条件，得到第一预设故障检测条件； 根据所述第三液位传感器与所述第一液位传感器之间的高度差信息，得到第一预设液位信号判断信息，其中，所述第一预设液位信号判断信息为所述液位传感器的液位检测功能在正常情况下，将所述冷却水箱中的冷却水从所述第三液位传感器的液位高度排水至所述第一液位传感器的液位高度所需的时长； 若所述液位传感器为所述第二液位传感器，在所述冷却水箱的排水过程中，将所述第二液位传感器的触发信号消失的时刻作为所述第二液位传感器的预设故障检测条件，得到第二预设故障检测条件； 根据所述冷却水箱停止排水的液位高度与所述第二液位传感器的感应区高度之间的高度差信息，得到第二预设液位信号判断信息，其中，所述第二预设液位信号判断信息为所述液位传感器的液位检测功能在正常情况下，将所述冷却水箱中的冷却水从所述冷却水箱停止排水的液位高度进水至所述第二液位传感器的感应区高度所需的时长； 若所述液位传感器为所述第三液位传感器，将所述冷却水箱停止排水的时刻作为所述第三液位传感器的预设故障检测条件，得到第三预设故障检测条件； 根据所述冷却水箱中所述第二液位传感器与所述第三液位传感器之间的高度差信息，得到第三预设液位信号判断信息，其中，所述第三预设液位信号判断信息为所述液位传感器的液位检测功能在正常情况下，将所述冷却水箱中的冷却水从所述第二液位传感器的液位高度进水至所述第三液位传感器的液位高度所需的时长； 若所述液位传感器为所述第四液位传感器，将所述第三液位传感器确定为故障状态的判定时刻作为所述第四液位传感器的预设故障检测条件，得到第四预设故障检测条件； 根据所述第二液位传感器与所述第四液位传感器之间的高度差信息，得到第四预设液位信号判断信息，其中，所述第四预设液位信号判断信息为所述液位传感器的液位检测功能在正常情况下，将所述冷却水箱中的冷却水从所述第二液位传感器的液位高度进水至所述第四液位传感器的液位高度所需的时长； 所述基于不同类型的所述预设故障检测条件，采集对应的所述液位传感器产生的触发信号，包括： 在满足所述第一预设故障检测条件、所述第二预设故障检测条件、所述第三预设故障检测条件和所述第四预设故障检测条件中任意一个预设故障检测条件时，采集对应的所述液位传感器产生的触发信号。

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