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南京宁麒智能计算芯片研究院有限公司汪晨冉获国家专利权

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龙图腾网获悉南京宁麒智能计算芯片研究院有限公司申请的专利一种晶圆流片及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115692304B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211460959.4,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种晶圆流片及其制造方法是由汪晨冉;范静;王杰;张璇;吴迪设计研发完成,并于2022-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆流片及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆流片及其制造方法,涉及到晶圆流片加工技术领域,包括制造设备、第二皮带轮、第二伺服电机和驱动电机,所述制造设备的底端固定连接有固定柱,所述固定柱的一侧固定连接有加固杆,所述固定柱的另一侧固定连接有横杆,所述制造设备上开设有集料口,所述集料口的底端固定安装有限位板,所述限位板上插设有收集盒。本发明结构合理,实现了通过夹持组件对单晶硅锭的位置进行初步固定,然后再通过限位组件对单晶硅锭的位置进行定位,限位组件可以根据不同尺寸的单晶硅锭进行调整,最后通过切割组件对其进行单晶切割工作。

本发明授权一种晶圆流片及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆流片制造装置,包括制造设备1、第二皮带轮209、第二伺服电机502和驱动电机505,其特征在于,所述制造设备1的底端固定连接有固定柱101,所述固定柱101的一侧固定连接有加固杆102,所述固定柱101的另一侧固定连接有横杆103,所述制造设备1上开设有集料口104,所述集料口104的底端固定安装有限位板105,所述限位板105上插设有收集盒106,所述收集盒106的一侧固定连接有把手107,所述制造设备1上固定安装有控制台108; 还包括夹持组件、限位组件和切割组件,所述夹持组件用于对晶圆流片的原料进行固定,所述限位组件用于配合限位组件进行使用,所述切割组件用于对晶圆流片的原料进行切割; 夹持组件包括固定安装所述制造设备1上的加工台2,所述加工台2上固定安装有集料板201,所述集料板201的顶端开设有滑槽202,所述集料板201上开设有导轨203,所述加工台2上固定安装有一对轴杆座204,一对所述轴杆座204上转动连接有转杆205,所述转杆205上固定安装有齿盘206,所述转杆205的一端固定安装有第一皮带轮207,所述第一皮带轮207上套设有传动带208,所述传动带208的底端套设在第二皮带轮209上,所述第二皮带轮209固定安装在第一伺服电机210上,所述第一伺服电机210固定安装在所述制造设备1上,所述滑槽202的内部滑动连接有滑板3,所述滑板3固定安装在齿条301上,所述齿条301的一端固定连接在圆环302上,所述圆环302上螺纹连接有第一螺栓303,所述第一螺栓303的底端转动连接有夹板304,所述圆环302上固定安装有置物板305,所述置物板305的底端固定安装有滑块306,所述滑块306滑动连接在所述导轨203内; 限位组件包括固定安装在所述集料板201顶端的固定座4,所述固定座4上螺纹连接有第二螺栓401,所述第二螺栓401的顶端延伸至所述固定座4外,所述固定座4的内部固定连接有一对滑杆402,所述滑杆402上滑动连接有移动块404,所述移动块404的一侧转动连接有转轴405,所述转轴405上固定安装有滚筒406。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京宁麒智能计算芯片研究院有限公司,其通讯地址为:211100 江苏省南京市江宁区麒麟科技创新园智汇路300号B单元二楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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