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龙图腾网获悉西北工业大学申请的专利一种测量双层纳米金属薄膜厚度二维分布的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115523852B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211232389.3，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种测量双层纳米金属薄膜厚度二维分布的方法是由赵建林;米婧宇;张继巍;豆嘉真设计研发完成，并于2022-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测量双层纳米金属薄膜厚度二维分布的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种测量双层纳米金属薄膜厚度二维分布的方法。通过建立两种表面等离子体共振模型，利用二次曝光数字全息干涉术探测两种共振模型对应的反射光波相位差，并结合菲涅耳公式理论计算两种共振模型对应的反射相移差曲面，获取以两种金属薄膜厚度为变量的两条单调曲线，提取曲线交点坐标值，可实现双层纳米金属薄膜厚度二维分布的高灵敏度精确测量。

本发明授权一种测量双层纳米金属薄膜厚度二维分布的方法在权利要求书中公布了：1.一种测量双层纳米金属薄膜厚度二维分布的方法，其特征在于步骤如下： 步骤1：构建由电介质层1、厚度为d1的金属层1、厚度为d2的金属层2、电介质层2组成的四层Kretschmann表面等离子体共振激发结构，利用表面等离子体共振的波矢匹配条件，计算当电介质层2分别为折射率为n1的液体1和折射率为n2的液体2时，激发表面等离子体共振所需的激发光波入射角θ1和θ2；当光波入射角为θ1时，利用菲涅耳公式分别计算电介质层2为液体1、空气时入射光波经激发结构多层膜系反射后的反射相移，二者作差得反射相移差φ1n1,d1,d2，给定d1、d2的变化范围，得到φ1随d1、d2变化的共振曲面Φ1φ1,d1,d2；同理，计算光波入射角为θ2时液体2对应的反射相移差曲面Φ2φ2,d1,d2； 步骤2：搭建基于Kretschmann结构的表面等离子体共振全息显微成像测量系统，令激发光波入射角为θ1，当电介质层2为液体1时记录反射光波作为物光波与参考光波干涉形成的数字全息图H1，将电介质层2更换为空气，记录数字全息图H2； 步骤3：调整测量系统中的激发光波入射角为θ2，令电介质层2为液体2，利用与步骤2相同方法记录数字全息图H3和数字全息图H4； 步骤4：利用光波衍射原理计算出四张数字全息图的相位分布1-4，相位分布2减去相位分布1得到相位差分布相位分布4减去相位分布3得到相位差分布 x,y代表二维空间坐标； 步骤5：反射相移差φ1x,y在数值上与实验测得的反射光波相位差相等，φ2x,y与相等，根据实验测得的与对应理论计算的共振曲面Φ1φ1,d1,d2、共振曲面Φ2φ2,d1,d2，在以d1、d2为变量的坐标系中投影出两条单调变化的共振曲线，曲线的唯一交点对应的两个厚度值即为待测的d1x,y与待测的d2x,y，即金属层1与金属层2的二维厚度分布。

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