无锡琨圣智能装备股份有限公司王落军获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡琨圣智能装备股份有限公司申请的专利一种实现倾斜电镀的电镀槽体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115418700B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211084488.1,技术领域涉及:C25D17/02;该发明授权一种实现倾斜电镀的电镀槽体是由王落军;张三洋;温旭军;陶俊设计研发完成,并于2022-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种实现倾斜电镀的电镀槽体在说明书摘要公布了:本发明提供了一种实现倾斜电镀的电镀槽体,包括槽体,槽体内沿夹具移动方向并排间隔设置有夹具输送单元,每个夹具输送单元包括底部移动支撑组件和侧面移动支撑组件且输送方向与夹具移动方向一致,侧面移动支撑组件位于底部移动支撑组件的斜上方;槽体上方设置有夹具推动装置,夹具推动装置与设备阴极接通,槽体内设置有阳极板。本发明提供的实现倾斜电镀的电镀槽体,利用槽体内设置的夹具输送单元使装有硅片的夹具在电镀液内通过电镀槽体,实现双面电镀,提高电镀效率,阴极与电镀液接触少,反镀情况明显改善,输送过程中夹具处于倾斜状态,夹具压板和硅片的重力能够帮助稳定硅片的位置,降低硅片对于夹具夹紧力的需求,降低碎片率。
本发明授权一种实现倾斜电镀的电镀槽体在权利要求书中公布了:1.一种实现倾斜电镀的电镀槽体,其特征在于:包括槽体,所述槽体内沿夹具移动方向并排间隔设置有若干夹具输送单元,每个所述夹具输送单元包括平行的底部移动支撑组件和侧面移动支撑组件且输送方向与夹具移动方向一致,所述侧面移动支撑组件位于所述底部移动支撑组件的斜上方; 所述槽体上方设置有夹具推动装置,所述夹具推动装置与设备阴极接通,所述槽体内设置有阳极板; 所述夹具推动装置包括两个支撑架,两个所述支撑架分别设置在所述槽体外在其夹具移动方向的两侧,每个所述支撑架朝向所述槽体的一侧设置有同步输送装置,两个所述同步输送装置上共同架设有一个阴极主杆,所述阴极主杆的下端连接有若干阴极推杆,每个所述阴极推杆向下延伸至所述槽体内且与一个所述夹具输送单元对应; 所述阳极板设置有若干个且两两一组,每组所述阳极板设置在所述夹具输送单元输送方向的两侧,每个所述阳极板的端部通过接线与设备阳极接通。
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