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龙图腾网获悉上海精测半导体技术有限公司申请的专利光声测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115388787B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210976185.4，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权光声测量系统是由陈煜杰;董诗浩;李仲禹设计研发完成，并于2022-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本光声测量系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光声测量系统。该光声测量系统通过激发光照射在待测物表面形成声波，声波使待测物表面产生形变，同时通过探测光照射在待测物表面得到探测光的反射光线即信号光，由于声波在待测物内运动并反弹至待测物的表面后形成变形区域会对信号光产生影响，使得探测器采集的信号产生变化，进而能够依据采集的信号进行膜厚的计算。通过采集延迟器的位移台的位置对信号光的时间进行反馈，通过控制模块对探测器采集的光功率数据以及位移台的位置数据进行处理，之后根据位移台的位置确定声波的运动时长，并对待测物的膜厚进行计算，能够得到准确率较高的结果，有效避开了现有技术中各方面误差对计算准确度的影响。

本发明授权光声测量系统在权利要求书中公布了：1.一种光声测量系统，其特征在于，包括光源、延迟器、位移传感器、探测器和控制模块； 所述光源用于产生探测光和激发光，所述激发光用于在待测物中形成声波，所述声波经所述待测物中的界面回传至所述待测物表面产生形变区域，所述探测光用于照射至所述待测物表面的所述形变区域后形成信号光； 所述延迟器包括位移台和若干反射组件，所述若干反射组件用于多次反射所述探测光，所述位移台用于带动所述反射组件线性移动以调整所述探测光的总光程，所述探测光的总光程包括所述延迟器调控的可变光程及探测光路中的固定段光程； 所述探测器以第一频率采集所述信号光的光功率； 所述位移传感器以第二频率实时采集所述位移台的位置； 所述控制模块，对采集到的所述信号光的光功率和或所述位移台的位置进行数据处理，以使相同时间内所述信号光的光功率的数据量和所述位移台的位置的数据量比值为0.9至1.1，并基于经所述数据处理后的信号光的光功率数据和位移台的位置数据获取所述待测物的膜厚； 所述基于经所述数据处理后的信号光的光功率数据和位移台的位置数据获取所述待测物的膜厚，包括：基于经所述数据处理后的信号光的光功率数据和位移台的位置数据； 获取所述信号光的光功率的数据的峰位及所述峰位对应的光功率数据采集时序点； 在所述位移台的位置数据中，获取所述峰位的时序点下对应的所述位移台的数据匹配点F以及位置数值P F； 获取所述位移台位于数据匹配点F时所述探测光与所述激发光到达所述待测物表面时的光程差OPD F； 基于所述光程差OPD F ，获取所述待测物的膜厚。

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