华南理工大学李明获国家专利权
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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种超声换能器及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115274716B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210839758.9,技术领域涉及:H10D86/80;该发明授权一种超声换能器及其制备方法和应用是由李明;刘玉荣;姚若河;耿魁伟设计研发完成,并于2022-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超声换能器及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种超声换能器及其制备方法和应用。本发明的超声换能器的组成包括依次设置的柔性衬底、薄膜晶体管、压电触觉传感器和电容式微加工超声换能器。本发明的超声换能器的制备方法包括以下步骤:在柔性衬底上依次制备薄膜晶体管、压电触觉传感器和电容式微加工超声换能器,即得超声换能器。本发明的超声换能器兼具超声成像和触觉传感功能,具有超声驱动电压低、信噪比高、灵敏度高、可寻址阵列化、柔性可弯曲等优点,适合进行大规模推广应用。
本发明授权一种超声换能器及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种超声换能器,其特征在于,组成包括依次设置的柔性衬底、薄膜晶体管、压电触觉传感器和电容式微加工超声换能器;所述压电触觉传感器的组成包括压电材料层和触觉传感器电极;所述电容式微加工超声换能器的组成包括主体支撑层、微空腔、振膜和超声换能器电极;所述触觉传感器电极与振膜接触;所述主体支撑层内部设置有微空腔;所述振膜覆盖主体支撑层,且封闭微空腔;所述超声换能器电极与振膜接触;所述电容式微加工超声换能器中的主体支撑层由压电材料制成;所述主体支撑层还充当压电触觉传感器中的压电材料层。
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