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龙图腾网获悉中节能万润股份有限公司申请的专利用于光刻胶中光酸产生剂浸出量测定的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114994260B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210797276.1，技术领域涉及：G01N33/00；该发明授权用于光刻胶中光酸产生剂浸出量测定的装置及方法是由陈帅;刘文昭;付海超;邹广辉;周勇;吴同川设计研发完成，并于2022-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于光刻胶中光酸产生剂浸出量测定的装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及用于光刻胶中光酸产生剂浸出量测定的装置及方法，所述的装置包括承载盘、软垫片、压盖和输水泵，所述承载盘的上表面设有通水凹槽，所述软垫片设有通水孔，所述通水孔与所述通水凹槽的上表面形状完全相同，所述软垫片置于所述承载盘的上表面，所述通水孔与所述通水凹槽位置重合，所述软垫片的上表面放置晶圆，晶圆涂有光刻胶的一面与所述软垫片贴合，所述承载盘上设有进水口和出水口，所述通水凹槽的两端分别与所述进水口和出水口相通，所述输水泵通过输水管与所述进水口相通，所述晶圆的上端压合所述压盖。所述的装置结构简单，可以给光刻胶中光酸产生剂浸出量的测定带来极大的便利。

本发明授权用于光刻胶中光酸产生剂浸出量测定的装置及方法在权利要求书中公布了：1.用于光刻胶中光酸产生剂浸出量测定的装置，其特征在于，所述的装置包括承载盘（1）、软垫片（2）、压盖（3）和输水泵（4），所述承载盘（1）的上表面设有通水凹槽（5），所述软垫片（2）设有通水孔（6），所述通水孔（6）与所述通水凹槽（5）的上表面形状完全相同，所述软垫片（2）置于所述承载盘（1）的上表面，所述通水孔（6）与所述通水凹槽（5）位置重合，所述软垫片（2）的上表面放置晶圆（7），晶圆（7）涂有光刻胶的一面与所述软垫片（2）贴合，所述承载盘（1）设有进水口（8）和出水口（9），所述通水凹槽（5）的两端分别与所述进水口（8）和出水口（9）相通，所述输水泵（4）通过输水管（10）与所述进水口（8）相通，所述晶圆（7）的上端压合所述压盖（3）； 所述承载盘（1）的上表面设有至少一个通水凹槽（5），所述软垫片（2）设有至少一个通水孔（6），所述通水凹槽（5）和所述通水孔（6）的数量相同，所述通水孔（6）与所述通水凹槽（5）的上表面形状及位置完全匹配契合； 所述承载盘（1）的上端设有承载槽（11），所述软垫片（2）和晶圆（7）置于所述承载槽（11）内，所述承载槽（11）的形状与所述软垫片（2）的形状完全相同，所述软垫片（2）的形状与所述晶圆（7）的形状完全相同。

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