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上海大族富创得科技有限公司倪萌获国家专利权

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龙图腾网获悉上海大族富创得科技有限公司申请的专利一种具有End effect的SCARA机器人手臂获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115083986B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210724408.8,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权一种具有End effect的SCARA机器人手臂是由倪萌;周锐;曾潇凯设计研发完成,并于2022-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种具有End effect的SCARA机器人手臂在说明书摘要公布了:本发明涉及一种具有Endeffect的SCARA机器人手臂,包括吸盘本体、吸盘座、压缩气管接头、真空气管接头;吸盘座一端固定连接有吸盘本体、吸盘座另一端固定连接有压缩气管接头和真空气管接头;吸盘本体的内部设有压缩流道和真空流道;在吸盘本体上设有多个和压缩流道连通的压缩小孔,在吸盘本体上还设有和真空流道连通的负压小孔;SCARA机器人手臂内部设有压缩气体气管气路,通过压缩气体气管气路和外部设备吹气装置以及负压装置连接;真空压力传感器安装于负压装置和真空气管接头之间的管路上,用于检测所述真空流道内的负压。优点在于:该机器人手臂末端执行机构大大降低了晶圆在搬运中损坏的概率,提高了晶圆搬运的效率。

本发明授权一种具有End effect的SCARA机器人手臂在权利要求书中公布了:1.一种具有Endeffect的SCARA机器人手臂,其特征在于,包括SCARA机器人手臂1、吸盘本体2、吸盘座3、压缩气管接头4、真空气管接头5; 所述吸盘座3一端固定连接有所述吸盘本体2、所述吸盘座3另一端固定连接有所述压缩气管接头4和所述真空气管接头5; 所述吸盘本体2的内部设有压缩流道21和真空流道22,所述压缩流道21和所述压缩气管接头4连通,所述真空流道22和所述真空气管接头5连通; 在所述吸盘本体2上设有多个和所述压缩流道21连通的压缩小孔23,所述压缩小孔23的开口方向和所述吸盘本体2所在的平面平行;在所述吸盘本体2上还设有和所述真空流道22连通的负压小孔24,所述负压小孔24的开口方向和所述压缩小孔23的开口方向垂直; 所述吸盘座3固定于所述SCARA机器人手臂1上,所述SCARA机器人手臂1内部设有压缩气体气管气路,通过压缩气体气管气路和外部设备吹气装置11以及负压装置12连接; 所述吹气装置11通过压缩气体气管气路和所述压缩气管接头4连通,所述负压装置12通过压缩气体气管气路和所述真空气管接头5连通,真空压力传感器13安装于所述负压装置12和所述真空气管接头5之间的管路上,用于检测所述真空流道22内的负压; 在所述吸盘本体2的边缘处设有多个出风缺口28,所述出风缺口28和所述压缩小孔23连通; 在所述吸盘本体2表面还设有多个负压吸盘29,所述负压吸盘29呈圆环形,所述负压吸盘29和所述出风缺口28连通,所述压缩小孔23位于所述负压吸盘29下方; 所述出风缺口28具有沿出风方向呈渐开状的相对两侧壁,且一所述侧壁笔直延伸,另一所述侧壁包括相连的曲线段和笔直段,所述曲线段靠近所述压缩小孔23设置,且所述曲线段朝向相对的所述侧壁弯曲;或者, 所述压缩流道21的中部环绕有环形块8,所述环形块8上设有多个风孔81,所述风孔81上设有两个呈中心对称的所述压缩小孔23;在所述压缩小孔23上方覆盖有旋风吸盘9,所述旋风吸盘9上设有和所述压缩小孔23对应的旋风吸盘排气槽91; 连通压缩流道21和风孔81的压缩小孔23具有沿进风方向呈渐缩状的相对两侧壁,且两侧壁均为曲面;所述旋风吸盘排气槽91具有沿出风方向呈渐开状的相对两侧壁,且两侧壁均笔直延伸。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海大族富创得科技有限公司,其通讯地址为:201112 上海市闵行区万芳路555号1号楼2楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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