万华化学集团电子材料有限公司崔晓坤获国家专利权
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龙图腾网获悉万华化学集团电子材料有限公司申请的专利一种减少凹陷的钨插塞化学机械抛光液及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117328068B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210718712.1，技术领域涉及：C23F3/06；该发明授权一种减少凹陷的钨插塞化学机械抛光液及其应用是由崔晓坤;卞鹏程;王庆伟;徐贺;李国庆;王瑞芹;王永东;卫旻嵩设计研发完成，并于2022-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种减少凹陷的钨插塞化学机械抛光液及其应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种减少凹陷的钨插塞化学机械抛光液及其应用，所述抛光液包含如下质量百分含量的组分：2%‑20%研磨剂、0.5％～5％氧化剂、0.01％～0.5％钨催化剂，0.01%‑0.05%腐蚀抑制剂，其余部分为去离子水。本发明的钨插塞化学机械抛光液能有效的去除钨，且具有较少凹陷的特点。
本发明授权一种减少凹陷的钨插塞化学机械抛光液及其应用在权利要求书中公布了：1.一种减少凹陷的钨插塞化学机械抛光液，其特征在于，包含如下质量百分含量的组分：2%-20%研磨剂、0.5％～5％氧化剂、0.01％～0.5%钨催化剂，0.01%-0.05%腐蚀抑制剂，余量为去离子水； 所述腐蚀抑制剂为含有硝基且含有非共轭结构的杂环物质，选自1,4-二亚硝基哌嗪、1-甲基-4-亚硝基哌嗪中的至少任一种； 所述的氧化剂选自过氧化氢、过硫酸钾、过硫酸铵、次氯酸钠或次氯酸钾中的一种或多种； 所述钨催化剂为铁盐。
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