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龙图腾网获悉浙江理工大学;浙江大学;南通市计量检定测试所申请的专利一种基于自动跟踪提高白光干涉采样速率的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114993200B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210553499.3，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种基于自动跟踪提高白光干涉采样速率的装置和方法是由祖洪飞;陈骏;陈章位;丁斌;何飞飞设计研发完成，并于2022-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于自动跟踪提高白光干涉采样速率的装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于自动跟踪提高白光干涉采样速率的装置和方法，装置由宽带光源，参考臂，测量臂，光纤耦合器，运动控制单元和信号接收与处理模块组成；本发明方法首先利用线性位移台找到等光程点后停止运动，之后压电扫描台开始工作，对待测样品的表面不断测量，通过设定一个自动跟踪的阈值，当超过阈值后，线性位移台移动到新的中心条纹位置，使得中心条纹位置重新在压电扫描台的中间零位附近，最终完成自动跟踪。本发明方法不会因为待测表面的起伏，使得压电扫描台无法找到等光程点；本发明可以在未设置测量路径和未知被测表面信息情况下，实现对未知表面自动跟踪测量，并利用压电扫描台的高频扫描特点，提高了采样速率及测量速度。

本发明授权一种基于自动跟踪提高白光干涉采样速率的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种基于自动跟踪提高白光干涉采样速率的装置，其特征在于，包括：宽带光源、参考臂、测量臂、光纤耦合器、运动控制单元和信号接收与处理模块； 所述参考臂包括线性位移台、压电扫描台、平面反射镜和准直镜；其中，线性位移台通过转接板与压电扫描台连接，平面反射镜安装于压电扫描台上； 所述测量臂包括xz两轴位移台、转接杆、测量探头、待测样品；所述xz两轴位移台中的z轴一侧设有z轴载物台，并通过转接杆连接测量探头，进行竖直方向运动；所述xz两轴位移台中的x轴一侧设有x轴载物台，x轴载物台上放置有待测样品，进行水平方向运动； 所述信号接收与处理模块包括上位机、数据采集分析仪和光电探测器； 所述光纤耦合器的一侧分别与参考臂、测量臂连接；所述光纤耦合器的另一侧分别与宽带光源、信号接收与处理模块连接；所述测量臂、参考臂分别输出测量光与参考光；所述信号接收与处理模块用于接收测量臂、参考臂输出的测量光与参考光的模拟信号，并处理生成测量臂、参考臂对应的数字信号；所述运动控制单元接收该数字信号，并输出模拟信号分别控制测量臂的x轴载物台和z轴载物台、参考臂的线性位移台和压电扫描台对待测样品进行测量； 光纤耦合器输出的参考光经准直镜准直后照射在平面反射镜上，经平面反射镜反射后，以原光路返回光纤耦合器，压电扫描台带动平面反射镜做往复运动，以改变参考臂的光程；光纤耦合器通过光纤连接测量探头并输出测量光至待测样品后发生反射，反射光沿原路返回，与参考臂处的反射光在光纤耦合器中发生干涉，通过干涉图样中心条纹对应等光程点来实现测量； 首先利用线性位移台找到等光程点后停止运动，之后压电扫描台开始工作，对待测样品的表面不断测量，由于待测表面起伏会导致等光程点不断改变，而压电扫描台的扫描范围往往不到1mm，因此被测表面起伏较大时会使等光程点很容易就超过了扫描范围，此时则通过设定一个自动跟踪的阈值，当超过阈值后，线性位移台移动到新的中心条纹位置，使得中心条纹位置重新在压电扫描台的中间零位附近，最终完成自动跟踪。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江理工大学;浙江大学;南通市计量检定测试所，其通讯地址为：310018 浙江省杭州市江干经济开发区2号大街928号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。