苏州博众仪器科技有限公司;博众精工科技股份有限公司邬大龙获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州博众仪器科技有限公司;博众精工科技股份有限公司申请的专利电子显微镜的真空抽取系统及真空抽取方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114899069B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210489587.1，技术领域涉及：H01J37/18；该发明授权电子显微镜的真空抽取系统及真空抽取方法是由邬大龙;邹文兵;唐爱权;魏志猛;李凌瞳;白生伟;周瑞设计研发完成，并于2022-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子显微镜的真空抽取系统及真空抽取方法在说明书摘要公布了：本发明属于电子显微镜的技术领域，公开了电子显微镜的真空抽取系统及真空抽取方法。该电子显微镜的真空抽取系统包括：检测件，用于检测电子显微镜内的气压值；控制器，与检测件通讯连接；抽真空机构，与电子显微镜内连通。抽真空机构包括均与控制器通讯连接的预抽组件、一级抽气组件以及二级抽气组件，控制器配置为根据气压值的逐渐降低而依次控制预抽组件、一级抽气组件以及二级抽气组件启动。以此通过预抽组件、一级抽气组件、二级抽气组件依次启动来完成对电子显微镜内的抽气，不仅可以快速将气体抽出，获得符合要求的真空度，而且启动过程完全由控制器来控制，其整体的自动化程度较高，能够有效提高设备的使用效率。
本发明授权电子显微镜的真空抽取系统及真空抽取方法在权利要求书中公布了：1.一种电子显微镜的真空抽取系统，其特征在于，所述电子显微镜的真空抽取系统包括： 检测件200，用于检测电子显微镜内的气压值； 控制器300，与所述检测件200通讯连接以获取所述气压值； 抽真空机构，与所述电子显微镜内连通，以用于将所述电子显微镜内气体抽出形成真空，所述抽真空机构包括均与所述控制器300通讯连接的预抽组件400、一级抽气组件500以及二级抽气组件600，所述控制器300配置为根据所述气压值的逐渐降低而依次控制所述预抽组件400、所述一级抽气组件500以及所述二级抽气组件600启动，并保持所述一级抽气组件500持续运行； 所述二级抽气组件600包括： 二级抽气泵，靠近所述电子显微镜的电子枪室110设置，并与所述控制器300及所述电子显微镜的电子枪室110相连接，所述二级抽气泵的抽气端与所述一级抽气组件500的抽气端连通，以调节所述二级抽气泵的抽气端的气压。
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