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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种方形晶圆预对准方法、系统、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114664722B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210284294.X，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种方形晶圆预对准方法、系统、电子设备及存储介质是由王家林;罗杨;崔洁;牛岩;祁雪飞;菅彦彬设计研发完成，并于2022-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种方形晶圆预对准方法、系统、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种方形晶圆预对准方法、系统、电子设备及存储介质，该方法包括：获取待对准方形晶圆对应的目标图像；基于目标图像，确定待对准方形晶圆的四个顶点的顶点位置以及四条边的角度信息；基于四条边的角度信息，确定第一旋转角度；控制旋转平台按照第一旋转角度进行旋转；基于第一旋转角度以及四个顶点的顶点位置，确定待对准方形晶圆的旋转后的中心点位置，以及旋转后的中心点位置与目标位置之间的偏移距离；基于偏移距离控制移动平台移动，以使待对准方形晶圆移动至测量坐标系中的目标位置完成位置对准。通过采用上述方形晶圆预对准方法、系统、电子设备及存储介质，解决了无法对方形晶圆进行预对准的问题。

本发明授权一种方形晶圆预对准方法、系统、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种方形晶圆预对准方法，其特征在于，所述方法包括： 接收待对准方形晶圆已放入目标晶圆槽位的反馈信号，获取所述待对准方形晶圆对应的目标图像； 基于所述目标图像，确定所述待对准方形晶圆的四个顶点的顶点位置以及四条边的角度信息，基于四条边的角度信息，确定第一旋转角度； 控制旋转平台按照所述第一旋转角度进行旋转，以使所述待对准方形晶圆在测量坐标系中与横坐标轴成目标角度进行摆放； 基于所述第一旋转角度以及四个顶点的顶点位置，确定待对准方形晶圆的旋转后的中心点位置，以及旋转后的中心点位置与目标位置之间的偏移距离； 基于所述偏移距离控制移动平台移动，以使所述待对准方形晶圆移动至测量坐标系中的目标位置完成位置对准； 所述基于所述目标图像，确定所述待对准方形晶圆的四个顶点的顶点位置以及四条边的角度信息，包括： 获取目标图像中每个像素点的灰度值，针对每个像素点，确定与该像素点相邻的多个相邻像素点分别与该像素点的灰度值的差值； 将相邻两个像素点的差值，确定为相邻两个像素点的梯度； 将多个大于梯度阈值的对应的像素点，确定为所述待对准方形晶圆的多个边缘像素点； 基于所述待对准方形晶圆的多个边缘像素点，确定所述待对准方形晶圆的位置信息，所述位置信息包括四个顶点的顶点位置以及四条边的位置； 基于所述四条边的位置，确定四条边的角度信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。