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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利一种基于悬臂梁薄膜的光纤氢气传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114705657B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210252707.6，技术领域涉及：G01N21/45；该发明授权一种基于悬臂梁薄膜的光纤氢气传感器及其制备方法是由刘申;陈培敬;王义平设计研发完成，并于2022-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于悬臂梁薄膜的光纤氢气传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于悬臂梁薄膜的光纤氢气传感器，包括：光纤，一端面上具有向内延伸的一腔室；平面结构的悬臂梁薄膜，设置于所述光纤具有所述腔室的端面上，且位于所述腔室前方。该光纤氢气传感器的悬臂梁薄膜厚度为纳米量级，从而对外界氢气浓度探测更加灵敏，且法布里珀罗干涉仪的腔室受外界的光照、温度等影响较小。本发明还提供上述氢气传感器的制备方法。

本发明授权一种基于悬臂梁薄膜的光纤氢气传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于悬臂梁薄膜的光纤氢气传感器制备方法，其特征在于，所述光纤氢气传感器包括： 光纤，一端面上具有向内延伸的一腔室； 平面结构的悬臂梁薄膜，设置于所述光纤具有所述腔室的端面上，且位于所述腔室前方； 所述光纤包括纤芯和包层，所述腔室至少位于所述纤芯的端面上，所述纤芯与所述腔室的中心相对应，所述包层与所述腔室的外围相对应，且所述腔室的范围不超出所述包层；所述悬臂梁薄膜包括位于同一平面上的薄膜外围和薄膜悬臂，所述薄膜外围固定在所述光纤端面的包层上，具有与所述腔室相对应的镂空区；所述薄膜悬臂位于所述薄膜外围的镂空区内，一端与所述薄膜外围固定，另一端悬浮于所述腔室前方且与所述光纤端面的纤芯相对应；所述薄膜悬臂在所述光纤端面上的投影位于所述腔室内，且覆盖所述光纤端面的纤芯； 所述制备方法步骤如下： S1：在光纤的一端面上制作向内延伸的一腔室； S2：在所述光纤具有所述腔室的端面上制作平面结构的悬臂梁薄膜，所述悬臂梁薄膜位于所述腔室前方； 步骤S1中，在光纤的一端面上制作向内延伸的一腔室的步骤如下： S1.1：将两根光纤的各自一端面切平； S1.2：将两根光纤中已切平的端面加热为圆弧形状； S1.3：在两根光纤中圆弧形状的端面上涂抹折射率匹配液； S1.4：将两根光纤中已涂抹所述折射率匹配液的端面加热熔接，同时使所述折射率匹配液汽化而在两根光纤的熔接处形成气泡腔； S1.5：从所述气泡腔中间将已熔接的两根光纤切断，得到一端面上具有所述腔室的两根光纤； 所述悬臂梁薄膜包括悬浮薄膜层、支撑薄膜层以及氢敏感薄膜层，步骤S2中，在所述光纤具有所述腔室的端面上制作平面结构的悬臂梁薄膜的步骤如下： S2.1：在所述光纤具有所述腔室的端面上制作一层悬浮薄膜层； S2.2：在所述悬浮薄膜层上制作一层支撑薄膜层； S2.3：根据所述悬臂梁薄膜的平面结构，对所述悬浮薄膜层和支撑薄膜层进行刻蚀； S2.4：在所述支撑薄膜层上制作一层氢敏感薄膜层。

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