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深圳市柯宝原科技有限公司王云升获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市柯宝原科技有限公司申请的专利一种掩膜板制作方法及掩膜板获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116463592B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210252156.3,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权一种掩膜板制作方法及掩膜板是由王云升设计研发完成,并于2022-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种掩膜板制作方法及掩膜板在说明书摘要公布了:本发明提供一种掩膜板制作方法及采用该方法制作形成的掩膜板,所述掩膜板制作方法包括:对作为掩膜的不锈钢片进行张网;对所述不锈钢片进行激光切割,形成需要的掩膜通孔图案;将切割好的不锈钢片焊接到掩膜板框上,去除多余部分获得掩膜板半成品;取另一不锈钢片制作保护片,对所述掩膜板半成品进行保护并打磨通孔边沿,清洗获得最终的掩膜板。由于本申请提供的掩膜板制作方法,采用打磨的方式去除了通孔边沿的毛刺等缺陷,提高了掩膜板的制造良率。本申请提供的掩膜板由于采用上述方法制作形成,避免了掩膜板通孔边沿毛刺等缺陷,因此能够提高掩膜板的质量和OLED蒸镀质量。

本发明授权一种掩膜板制作方法及掩膜板在权利要求书中公布了:1.一种掩膜板制作方法,其特征在于,包括: 取一丝网,将其水平拉伸绷紧,取一铝框,在框体一面涂上胶水,然后将其贴在拉伸好的丝网上,胶水干燥粘接稳固后,沿铝框的外边沿将丝网裁下,制得网框; 取裁好的不锈钢片,在不锈钢片的一面的四周靠边沿处涂上胶水,将其居中水平贴在所述网框上,让不锈钢片与丝网互相粘住; 胶水干燥后,将不锈钢片下方的丝网裁掉,不锈钢片和铝框之间的丝网将不锈钢片绷紧; 将绷紧的钢片放入激光切割机中,根据设计的图案,用激光切割出需要的通孔图案,制得不锈钢掩膜; 提供掩膜板框架,将切割好的带网框的不锈钢掩膜套在掩膜板框架上,将带通孔图案的不锈钢掩膜用激光焊接机焊接在掩膜板框架上; 利用激光切割机沿掩膜板框架外边沿将不锈钢片和网框切割去除,获得掩膜板半成品; 取另一不锈钢片,用激光切割机切割大通孔图案,该大通孔图案跟所述掩膜板半成品中的通孔图案一一对应,但是每个大通孔的开口都比掩膜板半成品中的通孔的开口大,制得不锈钢保护片; 将掩膜板半成品以不锈钢掩膜朝下,框架朝上放磁桌上,将不锈钢保护片盖在掩膜板半成品不锈钢掩膜上,使得只有不锈钢掩膜通孔边沿部分才露出,吸住保护片,用砂纸打磨不锈钢掩膜每个通孔边沿,去除毛刺; 将打磨后的掩膜板半成品,清洗后烘干获得最终的掩膜板成品。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市柯宝原科技有限公司,其通讯地址为:518110 广东省深圳市龙华区观澜街道大富社区大富工业区20号硅谷动力智能终端产业园A14栋101;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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