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龙图腾网获悉苏州精濑光电有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司申请的专利一种晶圆料盒自动上下料机构及其自动上下料方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114724990B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210226746.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆料盒自动上下料机构及其自动上下料方法是由肖治祥;朱涛;叶坤;商秋锋设计研发完成，并于2022-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆料盒自动上下料机构及其自动上下料方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆料盒自动上下料机构及其自动上下料方法，所述晶圆料盒自动上下料机构包括循环传送带机构、若干料盒定位治具，所述料盒定位治具排布在所述循环传送带机构上；所述循环传送带机构包括上层传送带机构及其下方的下层传送带机构，以及第一升降机构和第二升降机构；所述第一升降机构位于所述下层传送带机构沿传送方向的一端，所述第二升降机构位于所述下层传送带机构的另一端；所述第一升降机构、所述第二升降机构在所述上层传送带机构和所述下层传送带机构之间往复运动，衔接所述上层传送带机构和所述下层传送带机构。本发明公开的一种利用立体上下层回流结构来满足晶圆料盒自动上下料的机构，占用空间小且有足量缓存区。

本发明授权一种晶圆料盒自动上下料机构及其自动上下料方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆料盒自动上下料机构，其特征在于，包括循环传送带机构和用于放置晶圆料盒的若干料盒定位治具（5），所述若干料盒定位治具（5）排布在所述循环传送带机构上；所述循环传送带机构包括上层传送带机构（1）、位于所述上层传送带机构（1）下方的下层传送带机构（2）以及第一升降机构（3）和第二升降机构（4）； 所述上层传送带机构（1）上设有测试取放料位，所述测试取放料位为所述上层传送带机构（1）沿传送方向的最末治具位； 所述第一升降机构（3）位于所述下层传送带机构（2）沿传送方向的一端，所述第二升降机构（4）位于所述下层传送带机构（2）与所述第一升降机构（3）位置相对的一端； 所述第一升降机构（3）、所述第二升降机构（4）在所述上层传送带机构（1）和所述下层传送带机构（2）之间往复运动，衔接所述上层传送带机构（1）和所述下层传送带机构（2）； 所述测试取放料位上设置有感应晶圆料盒的第一传感器（601），当所述第一传感器（601）检测到所述测试取放料位上有晶圆料盒时，所述上层传送带机构（1）停止传送；所述上层传送带机构（1）在传送方向的末端设有感应所述料盒定位治具（5）的第二传感器（602）。

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