株式会社斯库林集团岩崎晃久获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理方法及衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114975111B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210171497.8，技术领域涉及：H01L21/311；该发明授权衬底处理方法及衬底处理装置是由岩崎晃久;奥野泰利;鳅场真树设计研发完成，并于2022-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理方法及衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。衬底处理方法是对主面具有金属层的衬底进行处理。所述衬底处理方法包含：氧化金属层形成工序，通过向所述衬底的主面供给氧化性流体，而在所述金属层的表层形成含有1个原子层或数个原子层的氧化金属层；及氧化金属层去除工序，通过向所述衬底的主面供给含有气态水及雾态水中的至少任一个、以及和所述水一起与所述氧化金属层进行反应的反应性气体的蚀刻流体，而对所述氧化金属层进行蚀刻以将其从所述衬底选择性地去除。而且，通过执行至少1次以所述氧化金属层形成工序及所述氧化金属层去除工序为1个循环的循环处理，而在每次循环中以纳米以下的精度控制所述金属层的蚀刻量。
本发明授权衬底处理方法及衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理方法，对主面具有含有III族金属的氮化金属层的衬底进行处理，且包含： 氧化金属层形成工序，通过向所述衬底的主面供给氧化性流体，而在所述氮化金属层的表层形成含有1个原子层或数个原子层的氧化金属层；及 氧化金属层去除工序，通过向所述衬底的主面供给含有气态水及雾态水中的至少任一个、以及和所述水一起与所述氧化金属层进行反应的反应性气体的蚀刻流体，而对所述氧化金属层进行蚀刻以将其从所述衬底选择性地去除；且 通过执行至少1次以所述氧化金属层形成工序及所述氧化金属层去除工序为1个循环的循环处理，而在每次循环中以5nm以下的精度控制所述氮化金属层的蚀刻量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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