浙江大学陈冲获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利飞秒激光加工系统和三维表面形貌在线测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116851911B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310976585.X，技术领域涉及：B23K26/0622；该发明授权飞秒激光加工系统和三维表面形貌在线测量方法是由陈冲;张帆;熊昕;吴重光;陈远流设计研发完成，并于2022-02-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本飞秒激光加工系统和三维表面形貌在线测量方法在说明书摘要公布了：本发明涉及飞秒激光技术领域，涉及一种三维表面形貌在线测量方法，包括：获得非加工状态下的加工点的光电流信号I0；在加工过程中，接收待加工元件反射回来的飞秒激光束，并分成两束激光光束，分别传递给第一光电探测器和第二光电探测器；对光电流强度实时解码并依据提前标定的光电流强度解码IAM和轴向深度Z之间的对应关系，获得该加工点表面的轴向深度Z；绘制出加工元件的加工区域的三维形貌。
本发明授权飞秒激光加工系统和三维表面形貌在线测量方法在权利要求书中公布了：1.飞秒激光加工的三维表面形貌测量方法，其特征在于，适用于硅晶圆材料；包括以下步骤： 1非加工状态下，定位飞秒激光束到待加工元件的加工点； 2进入加工状态，飞秒激光束聚焦在加工元件的指定位置上进行烧蚀加工； 3加工过程中，接收待加工元件反射回来的飞秒激光束，并分成两束激光光束，分别传递给第一光电探测器和第二光电探测器； 第一光电探测器将探测到的光信号记录为光电流信号I1； 第二光电探测器将探测到的光信号记录为光电流信号I2； 对光电流强度实时解码IAM＝I1-I2I1+I2； 4依据提前标定的光电流强度解码IAM和轴向深度Z之间的对应系数a和对应系数b，获得该加工点表面的轴向深度Z＝IAM*a+b； 光电流强度解码IAM和加工元件表面的轴向深度Z呈线性关系； 5加工元件在XY方向位移实现XY平面的逐点扫描，得到XY平面各点的轴向深度Z； 6实时汇总所述加工元件的坐标信息和轴向深度Z，绘制出加工元件表面的三维形貌。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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