科利百利股份有限公司I·马哈威利获国家专利权
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龙图腾网获悉科利百利股份有限公司申请的专利用于半导体工艺的气体/固体分离的液体过滤装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114207839B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080056104.8，技术领域涉及：B01D47/02；该发明授权用于半导体工艺的气体/固体分离的液体过滤装置是由I·马哈威利设计研发完成，并于2020-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体工艺的气体/固体分离的液体过滤装置在说明书摘要公布了：一种用于气体固体分离的液体过滤装置，包括具有过滤室、半导体工艺气体入口、和工艺气体出口的外壳。过滤室形成液体储存器，半导体工艺气体入口及工艺气体出口与过滤腔室相连通。该外壳还包括过滤液入口和过滤液出口，其均与液体储存器相连通，以分别用于将过滤流体输送到液体储存器和从液体储存器排出过滤流体。
本发明授权用于半导体工艺的气体/固体分离的液体过滤装置在权利要求书中公布了：1.一种用于气体固体分离的液体过滤装置，所述过滤装置包括： 外壳，具有过滤室、半导体工艺气体入口、工艺气体出口，所述过滤室形成液体储存器，并且所述半导体工艺气体入口和所述工艺气体出口与所述过滤室连通，所述外壳112包括实心板136，所述实心板136划分了过滤室118和排气室138之间的外壳112的内部空间； 与所述液体储存器连通的过滤液入口和过滤液出口，分别用于将过滤液体输送到所述液体储存器和从所述液体储存器移除过滤液体； 进料管，所述进料管与所述工艺气体入口连通并延伸到所述液体储存器中以将流经所述工艺气体入口的工艺气体直接注入液体储存器中的过滤液体中；以及 与所述过滤室和所述排气室流体连通的内部导管134，以将过滤后的工艺气体流从所述过滤室引导到所述排气室，所述内部导管134包括位于过滤液体的高度上方的第一开口端134a和延伸穿过实心板136以便排放到排气室138内的第二开口端134b。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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