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龙图腾网获悉上海信耀电子有限公司申请的专利一种光刻机导正结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110577074B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910866312.3，技术领域涉及：B65G47/24；该发明授权一种光刻机导正结构是由赵晓波;王永和;黄微益;钱坤设计研发完成，并于2019-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机导正结构在说明书摘要公布了：本发明公开一种光刻机导正结构，包括：转换机构，所述转换机构包括：托板和第一气缸，所述托板具备X轴方向和Y轴方向，所述第一气缸与所述托板传动连接；第一输送机构，所述第一输送机构包括：一第一电机和若干滚轮轴，若干所述滚轮轴分别与所述第一电机传动连接，所述托板供若干所述滚轮轴的上表面穿过；第二输送机构，所述第二输送机构包括：一第二气缸、一第二电机和若干输送组件，所述第二气缸分别与若干所述输送组件传动连接，所述托板供若干所述输送组件的上表面穿过，所述第二电机分别与若干所述输送组件传动连接。本发明能够保证光刻的对准精度，提高产品的合格率。

本发明授权一种光刻机导正结构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机导正结构，其特征在于，包括： 转换机构，所述转换机构包括：托板和第一气缸，所述托板具备X轴方向和Y轴方向，所述第一气缸与所述托板传动连接，所述第一气缸用于驱动所述托板上下移动； 第一输送机构，所述第一输送机构包括：一第一电机和若干滚轮轴，若干所述滚轮轴分别与所述第一电机传动连接，所述托板供若干所述滚轮轴的上表面穿过，若干所述滚轮轴用于输送产品沿X轴方向移动； 第二输送机构，所述第二输送机构包括：一第二气缸、一第二电机和若干输送组件，所述第二气缸分别与若干所述输送组件传动连接，所述第二气缸用于驱动若干所述输送组件上下移动，所述托板供若干所述输送组件的上表面穿过，所述第二电机分别与若干所述输送组件传动连接，所述第二电机用于驱动若干所述输送组件运行，若干所述输送组件用于输送所述产品沿Y轴方向移动； 每一所述输送组件均包括：一主动轮、若干从动轮组和一输送带，所述第二电机与所述主动轮传动连接，若干所述从动轮组、所述主动轮均与所述输送带传动连接，若干所述输送带的上表面均处于同一第二平面上，所述托板分别供若干所述输送带的上表面穿过，若干所述输送带用于输送所述产品沿Y轴方向移动； 每一所述从动轮组均包括：三从动轮，一所述从动轮的上表面高于另外两所述从动轮的上表面，三所述从动轮均与所述输送带传动连接； 每一所述输送组件还包括： 一输送带安装板，所述第二气缸与所述输送带安装板传动连接，所述第二气缸用于驱动所述输送组件上下移动； 若干安装架，若干所述安装架均设于所述输送带安装板上，若干所述从动轮、所述主动轮分别与若干所述安装架转动连接。

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