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龙图腾网获悉EV 集团 E·索尔纳有限责任公司申请的专利用于接合衬底的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334626B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210003795.6，技术领域涉及：H01L21/18；该发明授权用于接合衬底的方法是由F.库尔茨;T.瓦根莱特纳;T.普拉赫;J.M.聚斯设计研发完成，并于2016-02-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于接合衬底的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于将第一衬底（2）与第二衬底（2＇）在所述衬底（2，2＇）的接触面（2o，2o＇）处接合的方法，其具有如下步骤、尤其是如下流程：‑用保持力FH1将所述第一衬底（2）保持在第一样品支架（1）的第一样品支架表面（1o）上，以及用保持力FH2将所述第二衬底（2＇）保持在第二样品支架（1＇）的第二样品支架表面（1o＇）上，‑将所述接触面（2o，2o＇）在接合发起部位（20）处接触并且至少将所述第二样品支架表面（1o，1o＇）加热到加热温度TH，‑沿着从所述接合发起部位（20）伸展至所述衬底（2，2＇）的侧边缘（2s，2s＇）的接合波，将所述第一衬底（2）与所述第二衬底（2＇）接合，其特征在于，在接合期间减小在所述第二样品支架表面（1o＇）上的所述加热温度TH。

本发明授权用于接合衬底的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于将第一衬底与第二衬底接合的设备，其包括： 第一样品支架，所述第一样品支架被配置成利用第一保持力FH1来保持所述第一衬底，所述第一保持力FH1通过所述第一样品支架的多个可单个操控的第一真空轨道来施加，使得能够有针对性地从内向外来固定或分离所述第一衬底与所述第一样品支架，或者能够有针对性地从外向内来固定或分离所述第一衬底与所述第一样品支架； 第二样品支架，所述第二样品支架被配置成利用第二保持力FH2来保持所述第二衬底，所述第二保持力FH2通过所述第二样品支架的多个可单个操控的第二真空轨道来施加，使得能够有针对性地从内向外来固定或分离所述第二衬底与所述第二样品支架，或者能够有针对性地从外向内来固定或分离所述第二衬底与所述第二样品支架，其中所述第一和第二样品支架被配置成能相对接近以实现所述第一和第二衬底的相对接近；以及 测量装置，所述测量装置被配置成： 在所述第一衬底与所述第二衬底接触期间，检测所述第一衬底和所述第二衬底的已接合的表面相对于所述第一衬底和所述第二衬底的未接合的表面的百分比数量；以及 经由所检测到的百分比数量监控在所述第一衬底与所述第二衬底之间的接合波的前进，以使得能够通过连续地解除真空来有针对性地解除固定装置，以此控制所述接合波。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人EV 集团 E·索尔纳有限责任公司，其通讯地址为：奥地利圣弗洛里安；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。