买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉内蒙古科学技术研究院申请的专利一种用于蒸镀碲化铋膜的蒸发速率可控的热蒸镀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119932482B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510425314.4，技术领域涉及：C23C14/26；该发明授权一种用于蒸镀碲化铋膜的蒸发速率可控的热蒸镀装置是由雅茹罕;吕志嘉;杨挺;刘永茂;李文聪;张建军设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于蒸镀碲化铋膜的蒸发速率可控的热蒸镀装置在说明书摘要公布了：本发明属于真空蒸镀技术领域，涉及一种用于蒸镀碲化铋膜的蒸发速率可控的热蒸镀装置，包括由导电材料制备的蒸镀主体、蒸镀源以及位于蒸镀主体两端的电极，所述蒸镀主体内部开设有腔室，所述蒸镀源固定在腔室的一端或两端，蒸镀主体远离蒸镀源的一端或蒸镀主体中部设有若干圆孔，所述蒸镀主体由镍铬合金材质的无缝管制备而成，所述电极为无缝管两端经缩口、压扁一体成型制备而成。本发明的热蒸镀装置蒸发速率可控，其一体成型的电极结构、灵活的圆孔布局、特定的蒸镀源制备工艺及优化的蒸镀主体结构特别适用于制备高精度、高质量的碲化铋膜，设备技术指标达到国际领先水平，为下一代高性能热电器件的产业化提供了颠覆性技术平台。

本发明授权一种用于蒸镀碲化铋膜的蒸发速率可控的热蒸镀装置在权利要求书中公布了：1.一种用于蒸镀碲化铋膜的热蒸镀装置的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1）蒸镀源的制备：按质量比99：1称取纯度为4N的Bi2Te3粉末、Te粉末，将两者混合后置于真空熔炼炉中，保持真空度为0.01Pa，在620℃下熔炼2h；保持凝固速率为0.05Ks冷却至室温并将产物破碎至200目后将其装入模具，在200MPa下20min等静压成型获得直径24mm，厚度4mm的生坯，将其放入真空烧结炉，以5℃min升温到450℃，保温2h后随炉冷却至室温，即得； 2）制备蒸镀主体：选择直径25mm，长径比5:1~10:1，厚度0.05~0.5mm的镍铬合金无缝管，在无缝管内部沉积一层厚度为2~5μm的Ti-Al2O3涂层，所述镍铬合金无缝管内部形成腔室，在距无缝管的一端20mm处使用激光打孔形成均匀分布的2~10个圆孔，相邻圆孔距离为0.5~2mm，所述圆孔的直径不同，其中圆孔中小孔径为0.02mm~0.1mm，大孔径为0.2mm~0.5mm； 3）使用高温陶瓷胶将蒸镀源固定在腔室远离圆孔的一端，在250℃固化30min，使用旋压机对两端进行缩口并将缩口后的两端压扁形成一体成型电极； 所述热蒸镀装置无需真空条件就能直接热蒸镀制备碲化铋薄膜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人内蒙古科学技术研究院，其通讯地址为：010020 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区山丹街2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。