中国科学技术大学黄成园获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种极低温兼容的高稳定性压电扫描-位移台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116539920B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310505559.9,技术领域涉及:G01Q10/00;该发明授权一种极低温兼容的高稳定性压电扫描-位移台是由黄成园;陈振岚;王浩远;程光磊设计研发完成,并于2023-05-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种极低温兼容的高稳定性压电扫描-位移台在说明书摘要公布了:本发明公开了一种极低温兼容的高稳定性压电扫描‑位移台,包括滑动平台和基座;基座的活动仓内设有运动件,运动件通过弹性件与基座的活动仓活动连接,运动件上固定设置有多个导向球;滑动平台底部的多个滑槽与运动件上的多个导向球一一对应的滑动配合,并通过弹性压紧部件将滑动平台弹性压紧在运动件的多个导向球上;基座的活动仓内还设有驱动组件,驱动组件包括至少一个压电陶瓷致动器,压电陶瓷致动器的两端分别通过柔性铰链与运动件和基座相连接,通过控制施加在压电陶瓷致动器上的电压大小的不同,从而使得滑动平台与运动件之间相对静止或间歇性地发生相对移动,完成扫描动作或步进位移动作。本发明的优点:将扫描台和位移台合二为一。
本发明授权一种极低温兼容的高稳定性压电扫描-位移台在权利要求书中公布了:1.一种极低温兼容的高稳定性压电扫描-位移台,其特征在于:包括上下分布的滑动平台(1)和基座(2); 所述基座(2)上开有活动仓(3),基座(2)的活动仓(3)内设置有运动件(4),运动件(4)的外端通过若干弹性件与基座(2)的活动仓(3)侧壁实现活动连接,运动件(4)上固定设置有多个导向球(6); 滑动平台(1)底部设有沿前后方向依次排列的多个滑槽(7),每个滑槽(7)沿左右方向延伸,滑动平台(1)底部的多个滑槽(7)与运动件(4)上的多个导向球(6)一一对应的滑动配合,并通过弹性压紧部件将滑动平台(1)的多个滑槽(7)弹性压紧在运动件(4)的多个导向球(6)上; 基座(2)的活动仓(3)内还设有用于驱动运动件(4)左右移动的驱动组件,所述驱动组件包括至少一个压电陶瓷致动器,压电陶瓷致动器的两端分别通过柔性铰链(15)与运动件(4)和基座(2)的活动仓(3)侧壁相连接; 通过控制施加在压电陶瓷致动器上的电压大小的不同,从而控制压电陶瓷致动器产生不同大小的形变,压电陶瓷致动器的不同大小的形变经杠杆放大结构放大后对运动件(4)产生沿左右方向上不同大小的位移,进而使得滑动平台(1)与运动件(4)之间相对静止或间歇性地发生相对移动: 当滑动平台(1)与运动件(4)之间相对静止时,滑动平台(1)与运动件(4)的位移一致,完成扫描动作; 当滑动平台(1)与运动件(4)间歇性地发生相对移动时,完成步进位移动作; 所述驱动组件包括前后对称设置的两个第一压电陶瓷致动器(14),两个第一压电陶瓷致动器(14)分别位于运动件(4)的前后两侧,每个第一压电陶瓷致动器(14)的形变方向沿着第一压电陶瓷致动器(14)的长边延伸方向,在两个第一压电陶瓷致动器(14)均不通电压的情况下,每个第一压电陶瓷致动器(14)的长边与基座(2)的前后方向之间呈一个倾斜夹角,两个倾斜的第一压电陶瓷致动器(14)对运动件(4)形成对顶式的驱动结构,对顶式的驱动结构形成所述杠杆放大结构。
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