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南京邮电大学刘兆获国家专利权

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龙图腾网获悉南京邮电大学申请的专利一种基于铋接触电极的N型聚合物场效应晶体管的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116113291B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310275738.8,技术领域涉及:H10K71/60;该发明授权一种基于铋接触电极的N型聚合物场效应晶体管的制备方法是由刘兆;徐勇;陈泉桦;祝如俊;曹家荣;刘源;曹锦绣;孙华斌;朱力;吴洁设计研发完成,并于2023-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于铋接触电极的N型聚合物场效应晶体管的制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及微电子材料与器件技术领域,涉及一种基于铋接触电极的N型聚合物场效应晶体管的制备方法;N型聚合物场效应晶体管为顶栅底接触结构;首先在衬底上通过掩膜版使用真空蒸镀的方式制备铋金属膜作为源、漏电极,随后在其表面旋涂有机半导体作为有源层,待其退火结束后在其表面旋涂绝缘体作为介电层,最后通过掩模膜版在介电层上方蒸镀铝金属膜作为栅电极;该方法制备的接触电极相较于传统的金接触电极,其N型电接触性能获得了明显改善,器件性能明显提升,同时制备成本得到显著下降。

本发明授权一种基于铋接触电极的N型聚合物场效应晶体管的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于铋接触电极的N型聚合物场效应晶体管的制备方法,其特征在于,所述方法如下: 步骤S1:溶液的制备: 步骤S1-1:半导体溶液的配置; 步骤S1-2:介电层溶液的配置; 步骤S2:选择衬底并清洗; 步骤S3:源、漏电极的制备: 采用真空蒸镀的方式,先将铋颗粒放置在金属钨舟内,随后将清洗洁净的源、漏电极掩膜版与衬底一同吸附在磁性贴上送入蒸镀仪的腔体,使用机械泵和分子泵将蒸镀仪腔体的真空度抽至5*10-4Pa;随后缓慢增加施加在金属钨舟两端功率,待铋颗粒融化后,控制铋气流速率保持在0.2Ås; 步骤S4:有机半导体层的制备: 清洁步骤S3中的衬底表面并将其转移至氮气手套箱内,通过移液枪将步骤S1的半导体溶液滴在衬底表面,通过旋涂仪以500rpms的速度预旋涂10s,然后以2000rpms的速度旋涂60s;旋涂结束后,以80℃预退火5min,再以200℃退火20min,退火结束后将其移出加热台,室温冷却30min; 步骤S5:聚合物介电层的制备: 待步骤S4中的样品冷却结束后将其置于旋涂仪上,通过移液枪将步骤S1中介电层溶液滴在样品表面,通过旋涂仪以500rpms的速度预旋涂5s,随后以2000rpms的速度旋涂60s;旋涂结束后,以80℃退火过夜;退火结束后将其移出加热台,室温冷却30min; 步骤S6:栅极的制备 采用高温蒸镀的方式,先将铝金属颗粒放置在金属钨舟内,随后将清洗洁净的栅电极掩膜版与步骤S5中的样品一同吸附在磁性贴上送入蒸镀仪的腔体,使用机械泵和分子泵将蒸镀仪腔体的真空度抽至5*10-4Pa;随后缓慢增加施加在金属钨舟两端功率,待铝金属颗粒融化后,控制铝金属气流速率保持在0.2Ås。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京邮电大学,其通讯地址为:210023 江苏省南京市栖霞区文苑路9号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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