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龙图腾网获悉苏州赛腾精密电子股份有限公司申请的专利晶圆翻转检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120404763B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510916199.0，技术领域涉及：G01N21/892；该发明授权晶圆翻转检测装置是由孙丰;李振豪设计研发完成，并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆翻转检测装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆翻转检测装置，包括抓取机构、翻转机构和检测机构。抓取机构包括两个机械臂。翻转机构包括翻转平台和翻转电机。翻转平台固定连接于翻转电机的输出轴，翻转电机的输出轴沿第一方向延伸。检测机构包括相机、承载组件、第一光源组件、第二光源组件和移动组件；检测机构在第二方向上位于翻转机构一侧；承载组件包括安装板和多个承载块；安装板设有通孔，多个承载块在通孔的周向上间隔设置；承载块位于伸出位置时，承载块至通孔中心的最小距离小于待测晶圆的半径；当有承载块位于缩进位置时，至少有三个承载块位于伸出位置；移动组件与安装板相连。该晶圆翻转检测装置能实现无遮挡的检测，能提高检测效率且能避免成本过高。

本发明授权晶圆翻转检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转检测装置，其特征在于，包括： 抓取机构，包括两个机械臂，所述机械臂用于抓取并移动待测晶圆； 在第一方向上位于所述抓取机构一侧的翻转机构，包括翻转平台和翻转电机；所述翻转平台固定连接于所述翻转电机的输出轴，所述翻转电机的输出轴沿所述第一方向延伸； 与所述翻转机构位于所述抓取机构同一侧的检测机构，包括相机、承载组件、第一光源组件、第二光源组件和移动组件；所述检测机构在第二方向上位于所述翻转机构一侧，所述第一方向垂直于第二方向；所述相机固定设置；所述承载组件设置于所述相机的下方，包括水平设置的安装板、可移动地设置于所述安装板上的多个承载块；所述安装板设有通孔，多个所述承载块在所述通孔的周向上间隔设置；所述承载块的移动方向平行于所述通孔的径向；所述承载块具有伸出位置和缩进位置；所述承载块位于所述伸出位置时，所述承载块至所述通孔中心的最小距离小于所述待测晶圆的半径；所述承载块位于所述缩进位置时，所述承载块至所述通孔中心的最小距离大于所述待测晶圆的半径；多个所述承载块被配置为：当有承载块位于缩进位置时，至少有三个承载块位于伸出位置；所述第一光源组件和第二光源组件分别设置在所述承载组件的上方和下方；所述移动组件与所述安装板相连，能带动所述承载组件在第一方向和第二方向移动； 所述承载块背离所述通孔中心的一面固定连接有连接块，所述安装板上固定连接有固定块和导向件，所述导向件沿所述通孔径向延伸；所述连接块滑动连接于所述导向件；所述连接块和所述固定块之间设有弹簧；所述连接块上固定设有限位件，所述限位件沿垂直于所述通孔径向的方向延伸；所述安装板上固定连接有竖直延伸的转轴；所述转轴转动连接有连杆，所述连杆的一端与所述限位件靠近所述承载块的一侧相抵接，另一端固定连接于第一驱动件的输出端。

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