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辽宁汉京半导体材料有限公司韩玉获国家专利权

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龙图腾网获悉辽宁汉京半导体材料有限公司申请的专利石英石表面缺陷检测方法、系统及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120404749B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510903023.1,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权石英石表面缺陷检测方法、系统及设备是由韩玉;孙巧玉;刘扬设计研发完成,并于2025-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。

石英石表面缺陷检测方法、系统及设备在说明书摘要公布了:本发明公开了石英石表面缺陷检测方法、系统及设备,涉及图像处理技术领域,包括将待检测石英石固定于检测平台,并进行预处理;构建双路偏振成像光路;基于石英石光学各向异性特性进行偏振参数优化,使缺陷区域与正常区域产生偏振态差异;在偏振参数优化条件下,通过双路偏振成像光路同步采集第一偏振图像和第二偏振图像;对第一偏振图像和第二偏振图像进行偏振差分计算,生成偏振差分图像;对偏振差分图像进行对比度增强处理,识别缺陷区域并进行缺陷分类,输出石英石表面缺陷检测结果。本发明通过优化偏振成像参数配置,结合图像处理,实现了石英石表面缺陷的高精度检测和智能分类,提高了检测的自动化水平和可靠性。

本发明授权石英石表面缺陷检测方法、系统及设备在权利要求书中公布了:1.石英石表面缺陷检测方法,其特征在于:包括: 将待检测石英石固定于检测平台,并对石英石表面进行预处理; 构建双路偏振成像光路;所述双路偏振成像光路包括可调偏振光源、分光器、第一成像光路以及第二成像光路; 基于石英石光学各向异性特性进行偏振参数优化,通过调节起偏器和偏振分析器角度,使缺陷区域与正常区域产生偏振态差异; 在偏振参数优化条件下,通过所述双路偏振成像光路同步采集第一偏振图像和第二偏振图像; 对所述第一偏振图像和第二偏振图像进行偏振差分计算,生成偏振差分图像; 对所述偏振差分图像进行对比度增强处理,识别缺陷区域并进行缺陷分类,输出石英石表面缺陷检测结果; 所述基于石英石光学各向异性特性进行偏振参数优化包括: 对石英石样品进行光学各向异性特性测试,测定主光轴方向、折射率差异及光程差参数,建立光学各向异性特性分布图谱; 基于所述光学各向异性特性分布图谱,建立缺陷类型与偏振响应参数的映射数据库; 根据所述主光轴方向确定起偏器和偏振分析器的角度调节范围; 基于所述映射数据库确定起偏器和偏振分析器的初始角度,在所述角度调节范围内以所述初始角度为基准调节角度组合,采集对应的正交偏振方向光强; 基于所述正交偏振方向光强计算偏振对比度; 建立偏振对比度矩阵,评估不同偏振参数组合对各类缺陷的检测效果; 以最大化各类缺陷偏振对比度的加权平均值为目标,确定起偏器和偏振分析器的综合最优角度参数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人辽宁汉京半导体材料有限公司,其通讯地址为:110027 辽宁省沈阳市沈阳经济技术开发区昆明湖街20号(全部)一层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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