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龙图腾网获悉济宁市质量计量检验检测研究院(济宁半导体及显示产品质量监督检验中心、济宁市纤维质量监测中心)申请的专利一种半导体晶圆表面颗粒污染的图像检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120388015B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510872730.9，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种半导体晶圆表面颗粒污染的图像检测方法是由李丹丹;房翡翡;孙秋香设计研发完成，并于2025-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆表面颗粒污染的图像检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种半导体晶圆表面颗粒污染的图像检测方法。方法包括：根据局部窗口中的像素值方差以及二值图像上的第一目标连通域的面积占比，得到全局噪声表征值，根据所有断裂连通域的边缘总长、所有第二目标连通域的边缘总长以及第二目标连通域的空洞面积，得到区域模糊表征值，根据全局噪声表征值和区域模糊表征值，得到表面抑制图像对应的形态学处理策略，并按照形态学处理策略对表面抑制图像进行形态学处理得到污染颗粒待检测图像，利用污染颗粒检测模型对所述污染颗粒待检测图像进行污染颗粒的检测识别。且本发明能够提高对半导体晶圆表面的污染颗粒进行检测识别的准确性和完整性。

本发明授权一种半导体晶圆表面颗粒污染的图像检测方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆表面颗粒污染的图像检测方法，其特征在于，该方法包括如下步骤： 获取待检测半导体晶圆的表面抑制图像； 利用预设窗口对所述表面抑制图像进行划分得到所述表面抑制图像上的所有局部窗口，获取所述表面抑制图像的二值图像上的第一目标连通域和第二目标连通域，并根据所述局部窗口中的像素值方差以及所述二值图像上的第一目标连通域的面积占比，得到全局噪声表征值；获取所有第二目标连通域中的断裂连通域，并根据所有断裂连通域的边缘总长、所有第二目标连通域的边缘总长以及所述第二目标连通域的空洞面积，得到区域模糊表征值； 根据所述全局噪声表征值和区域模糊表征值，得到所述表面抑制图像对应的形态学处理策略，并按照所述形态学处理策略对所述表面抑制图像进行形态学处理得到污染颗粒待检测图像，利用污染颗粒检测模型对所述污染颗粒待检测图像进行污染颗粒的检测； 全局噪声表征值的获取方法，包括：对所述局部窗口中的所有像素点像素值的方差进行归一化处理，并记为所述局部窗口对应的归一化方差；根据所述局部窗口对应的归一化方差，得到第一噪声特征值；根据所述二值图像上的所有第一目标连通域的面积和与所述二值图像中的像素点总数量的比值，得到第二噪声特征值；计算所述第一噪声特征值与所述第二噪声特征值的加权求和结果，并记为全局噪声表征值； 区域模糊表征值的获取方法，包括：计算所述二值图像上的所有断裂连通域的边缘长度的累加和，并记为断裂边缘长度，计算所述二值图像上的所有第二目标连通域的边缘长度的累加和，并记为总边缘长度，根据所述断裂边缘长度和所述总边缘长度，得到边缘断裂率；计算所述二值图像上的所有第二目标连通域的空洞面积的累加结果，并记为空洞总面积，计算所述二值图像上的所有第二目标连通域的面积的累加结果，并记为疑似污染颗粒区域总面积；将所述空洞总面积与疑似污染颗粒区域总面积的比值作为第二目标连通域的空洞面积占比；计算所述边缘断裂率与所述第二目标连通域的空洞面积占比的均值，并记为区域模糊表征值； 根据所述全局噪声表征值和区域模糊表征值，得到所述表面抑制图像对应的形态学处理策略的方法，包括： 若所述全局噪声表征值大于区域模糊表征值、所述全局噪声表征值大于预设噪声判断阈值、所述区域模糊表征值小于预设区域模糊判断阈值，则将对所述表面抑制图像先进行开运算处理再进行闭运算处理作为所述表面抑制图像对应的形态学处理策略； 若所述全局噪声表征值小于区域模糊表征值、所述全局噪声表征值小于预设噪声判断阈值、所述区域模糊表征值大于预设区域模糊判断阈值，则将对所述表面抑制图像先进行闭运算处理再进行开运算处理作为所述表面抑制图像对应的形态学处理策略； 若所述全局噪声表征值大于等于预设噪声判断阈值、所述区域模糊表征值大于等于预设区域模糊判断阈值，则将对所述表面抑制图像先进行开运算处理再进行闭运算处理之后再进行开运算处理作为所述表面抑制图像对应的形态学处理策略； 若所述全局噪声表征值小于预设噪声判断阈值、所述区域模糊表征值小于预设区域模糊判断阈值，则将对所述表面抑制图像进行闭运算处理作为所述表面抑制图像对应的形态学处理策略。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人济宁市质量计量检验检测研究院(济宁半导体及显示产品质量监督检验中心、济宁市纤维质量监测中心)，其通讯地址为：272000 山东省济宁市任城区洸河路16号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。