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龙图腾网获悉上海稷以科技有限公司申请的专利基于机理模型的ALD设备温度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120255605B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510410972.6，技术领域涉及：G05D23/20；该发明授权基于机理模型的ALD设备温度控制方法是由刘强;杨平设计研发完成，并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于机理模型的ALD设备温度控制方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种基于机理模型的ALD设备温度控制方法，包括以下步骤：步骤1、建立并更新机理模型；步骤2、根据机理模型，设计无迹卡尔曼估计器；步骤3、将机理模型线性化，并以此来设计控制器的反馈增益，以形成二号控制器；步骤4、构建温度控制系统；步骤5、所有的InnerTC实时获取温度数据，二号控制器输出加热功率至对应的加热器，使得InnerTC的测量数值与对应的目标参考温度之间的误差在设定范围内。本发明提高了稳态控制精度。

本发明授权基于机理模型的ALD设备温度控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基于机理模型的ALD设备温度控制方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1、建立并更新机理模型： 步骤2、设计无迹卡尔曼估计器：选取步骤1输出的机理模型设计无迹卡尔曼估计器； 步骤3、将机理模型线性化，写成状态空间方程的形式，设计控制器的反馈增益，以形成二号控制器； 步骤4、构建温度控制系统： 将无迹卡尔曼估计器的输入端与所有的InnerTC连接； 将无迹卡尔曼估计器的输出端与二号控制器的一号输入端连接； 将二号控制器的二号输入端连接目标温度模块；目标温度模块用于输出温区侧的目标参考温度； 将二号控制器的输出端连接热交换系统中的所有的加热器； 步骤5、所有的InnerTC实时获取温度数据，二号控制器输出加热功率至对应的加热器，使得InnerTC的测量数值与对应的目标参考温度之间的误差在设定范围内； 步骤1具体包括以下步骤： 步骤1A、基于热交换系统建立机理模型，并选取待估计的模型系数，具体包括以下步骤： 步骤1A1、建立热交换系统，其包括： 晶圆放置区域，其位于炉管反应腔的中心位置，其包括自上而下分布的若干个子区域；每个子区域、晶圆放置区域和炉管反应腔的上表面之间、晶圆放置区域和炉管反应腔的下表面之间分别形成一个温控区； 炉管反应腔，其侧壁（1）的内壁面上设置与温控区对应的加热器，加热器的外壁上设置保温层； 靠近晶圆放置区域设置的一号传感器InnerTC、靠近加热器设置的二号传感器OuterTC； 及一号控制器，其位于炉管反应腔的外部，其与InnerTC、OuterTC及各加热器连接； 步骤1A2、建立机理模型： 步骤1A21、分析热交换系统，选取机理模型的建模对象； 步骤1A22、基于加热器、温区建立机理模型； 步骤1A3、基于机理模型，选取待估计的模型系数； 步骤1B、基于热交换系统设计试验，以获取用于估计模型系数的温度响应数据；温度响应数据包括InnerTC和OuterTC的测量值； 步骤1C、以非线性的机理模型作为非线性回归模型，选取加热器输出功率为自变量，InnerTC和OuterTC的测量值为因变量，使用迭代最小二乘估计来估计所有待估计的模型系数； 步骤1D、将步骤1C获取的模型系数代入步骤1A中的机理模型，以更新机理模型。

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