广东凯迪微智能装备有限公司江永获国家专利权
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龙图腾网获悉广东凯迪微智能装备有限公司申请的专利一种晶圆清洗输送过程的智能控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119852211B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510039398.8,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种晶圆清洗输送过程的智能控制方法是由江永;熊伟设计研发完成,并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗输送过程的智能控制方法在说明书摘要公布了:本发明涉及信息技术领域,具体涉及半导体晶圆清洗技术的一种晶圆清洗输送过程的智能控制方法,包括:在晶圆输送过程中,采用陀螺仪传感器实时检测输送装置的震动和位移信号,将采集到的信号输入到预先训练的支持向量机模型中进行分类,判断当前震动和位移是否超出预设阈值,该支持向量机模型使用历史数据训练得到,能够准确区分正常和异常的震动位移状态;当检测到超出阈值的震动或位移时,触发伺服电机进行补偿控制,通过调整输送速度和加速度参数,抑制震动和位移,确保晶圆稳定输送至旋转清洗装置,补偿控制算法根据震动和位移的幅度动态调整控制参数,实现快速响应和精确补偿。
本发明授权一种晶圆清洗输送过程的智能控制方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆清洗输送过程的智能控制方法,其特征在于,该方法包括以下步骤: S1、采用机器视觉系统实时检测晶圆在输送带上的位置坐标,根据获取的坐标数据,通过伺服电机精确控制输送带的运动,将晶圆调整至预设的最佳清洗位置,最佳清洗位置定义为晶圆中心与清洗喷头中心对齐的位置,确保清洗液均匀覆盖晶圆表面,消除因晶圆位置偏差导致的清洗死角; S2、根据机器视觉系统获取的晶圆图像,计算晶圆的尺寸信息,同时,使用高精度称重传感器测量晶圆重量,建立晶圆尺寸和重量与最佳输送速度的映射表,该映射表基于实验数据和经验构建,从映射表中查询得到相应的最佳输送速度参数,控制伺服电机调整输送带速度,实现输送速度的动态优化; S3、在晶圆输送过程中,采用陀螺仪传感器实时检测输送装置的震动和位移信号,将采集到的信号输入到预先训练的支持向量机模型中进行分类,判断当前震动和位移是否超出预设阈值,该支持向量机模型使用历史数据训练得到,能够准确区分正常和异常的震动位移状态; S4、当检测到超出阈值的震动或位移时,触发伺服电机进行补偿控制,通过调整输送速度和加速度参数,抑制震动和位移,确保晶圆稳定输送至旋转清洗装置,补偿控制算法根据震动和位移的幅度动态调整控制参数,实现快速响应和精确补偿; S5、对于旋转清洗环节,在清洗液喷射前,采用计算机视觉算法对静止状态的晶圆表面图像进行分析,通过图像分割和特征提取,判断晶圆表面的初始状态,在清洗过程中,使用高速摄像机捕捉旋转晶圆的瞬时图像,结合初始状态分析结果,评估清洗液在晶圆表面的覆盖均匀度,得到量化的覆盖率评分; S6、将覆盖率评分与预设阈值进行比较,当低于阈值时,动态调整晶圆的旋转角度和速度,通过模糊控制算法优化旋转参数,该算法基于覆盖率评分、旋转角度和速度三个输入变量,输出最优的角度和速度调整量,模糊规则根据知识设定,通过反复调优确保算法的有效性,持续监测覆盖率的变化趋势,实时优化清洗参数; S7、根据覆盖率的变化趋势,结合晶圆的旋转时间,采用强化学习算法不断优化旋转角度和速度的控制策略,强化学习算法以最大化清洗彻底性为目标,将覆盖率评分作为奖励信号,通过多次迭代学习最优的旋转参数组合,学习过程中考虑不同类型晶圆的特性,形成适应性强的控制策略,提高清洗效果的稳定性; S8、在每个晶圆清洗完成后,对清洗后的晶圆表面进行缺陷检测,通过深度学习算法识别和定位表面的缺陷,生成缺陷分布图,将缺陷信息与之前的清洗参数关联分析,找出导致清洗不彻底的因素,将分析结果反馈给上游工艺参数优化系统,持续改进晶圆清洗工艺,形成闭环优化。
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