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龙图腾网获悉正芯半导体技术(深圳)有限公司申请的专利一种基于电变量的场效应管智能测试方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119716451B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411905435.0，技术领域涉及：G01R31/26；该发明授权一种基于电变量的场效应管智能测试方法及系统是由柯荣城设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于电变量的场效应管智能测试方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于电变量的场效应管智能测试方法及系统，涉及场效应管测试技术领域。一种基于电变量的场效应管智能测试系统，包括有：智能测试模块和测试分析模块。本发明通过待测试晶圆上筛选并对多个场效应管进行动态测量，可以减少每个场效应管的测量次数，节省时间和资源；根据电压电流特性曲线的动态变化自动选择待测场效应管，可以通过优化测量过程，减少不必要的测试和重复测量；使用场效应管特性特征提取模型，强化特征学习的过程去除冗余特征，确保提取到的特征具备强相关性；针对每个待测场效应管独立收集与其相关的强相关特征，能够得到精准的测试结果，有助于做出更加可靠和科学的决策。

本发明授权一种基于电变量的场效应管智能测试方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于电变量的场效应管智能测试方法，其特征在于，包括以下步骤： 待测试晶圆上共包含n个待测场效应管Hn，n=1，2，…，N；每次测量筛选待测试晶圆上的M个待测场效应管进行动态测量，得到待分析电压电流特性曲线Xi，i=1，2，…，I；遍历所有待测场效应管进行动态测量，直到所有待测场效应管Hn进行过至少两次动态测量时，停止动态测量，得到I条待分析电压电流特性曲线； 基于待分析电压电流特性曲线Xi和场效应管特性特征提取模型进行分析，得到电压电流强相关特征Yi；场效应管特性特征提取模型用于对待分析电压电流特性曲线进行强化特征学习，去除冗余特征，得到具有强相关性的特征； 针对待测场效应管Hn，收集所有与待测场效应管Hn相关的电压电流强相关特征Yi，得到待测场效应管测试分析集Fn；基于待测场效应管测试分析集Fn和场效应管智能测试分析模型进行分析，得到场效应管测试结果Gn；根据场效应管测试结果Gn对待测试晶圆中的待测场效应管Hn进行后续操作； 根据待测试晶圆筛选待测场效应管进行动态测量的具体步骤，包括： S1.待测场效应管Hn对应的测试指数为Zn；其中，Zn=W1*（2-An）+W2*Bn；An表示待测场效应管Hn对应的已测试次数，W1为An对应的权重；Bn表示待测场效应管Hn对应的预测测试趋势，W2为Bn对应的权重； S2.根据测试指数Zn，选择M个待测场效应管Hn进行固定栅极电压不变测量，随机调整漏极电压大小，得到固定栅极电压漏极电流曲线；根据对应的M个待测场效应管Hn进行固定漏极电压不变测量，随机调整栅极电压大小，得到固定漏极电压漏极电流曲线； S3.将固定栅极电压漏极电流曲线和固定漏极电压漏极电流曲线进行特征融合，得到待分析电压电流特性曲线Xi； S4.完成步骤S2-S3后，基于场效应管预测测试模型重新输出测试指数Zn的大小，并进行下一次动态测量，直到所有已测试次数An均大于等于2时，停止动态预测。

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