哈尔滨工业大学(威海)张涛获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学(威海)申请的专利一种PEDOT:PSS复合铜网格柔性透明导电薄膜的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119694663B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411856994.7,技术领域涉及:H01B13/00;该发明授权一种PEDOT:PSS复合铜网格柔性透明导电薄膜的制备方法是由张涛;于凯波;张业炜;杨斌;张瑜;李淼;张润泽;陈子豪;刘梦想;范家乐设计研发完成,并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PEDOT:PSS复合铜网格柔性透明导电薄膜的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种PEDOT:PSS复合铜网格柔性透明导电薄膜的制备方法,包括下述步骤:S1、PET衬底清洗;S2、PEDOT:PSS溶液调节;S3、旋涂PEDOT:PSS;S4、退火:取出旋涂后的PEDOT:PSS种子层,置于真空干燥箱内进行退火,得到PEDOT:PSS薄膜;S5、靶材的预溅射;S6、在PEDOT:PSSPET衬底上溅射Cu膜;S7、铜网格复合导电薄膜的制备。本发明采用PEDOT:PSSPET代替PET作为衬底,让PEDOT:PSS作为种子层,不仅可以为Cu层生长提供良好的润湿效果,另外一方面可以借助PEDOT:PSS自身的导电性能,使Cu层与PEDOT:PSS层复合发挥出更优异的光电性能,整套流程简单,无需复杂操作,激光直写速度较快,图案灵活性高,可随意调节图案参数,而不受掩膜的限制,制备成本较低。
本发明授权一种PEDOT:PSS复合铜网格柔性透明导电薄膜的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种PEDOT:PSS复合铜网格柔性透明导电薄膜的制备方法,其特征在于,包括下述步骤: S1、PET衬底清洗:将裁剪好的PET用丙酮和无水乙醇进行超声至将衬底表面的有机物及其他杂质除去,将PET转移至去离子水中进行再次超声后进行干燥,将干燥后的PET衬底进行保存; S2、PEDOT:PSS溶液调节:在PEDOT:PSS原液中添加第一增效液提高PEDOT:PSS薄膜的导电性;采用第二增效液改善PEDOT:PSS与PET柔性衬底的界面接触; 所述第一增效液包括有乙二醇,乙二醇在PEDOT:PSS原液中添加体积分数占5%,所述第二增效液包括有异丙醇,第二增效液采用异丙醇作为稀释剂进行稀释,稀释比例为2:1; S3、旋涂PEDOT:PSS:在清洗干净的玻璃上滴一滴无水乙醇,后将PET衬底缓慢覆盖液滴至液体吸附薄膜衬底后进行旋涂; S31、将覆盖有衬底的玻璃放置于旋涂仪吸盘中央,合盖; S32、调配旋涂仪至旋涂速度800rpm,旋涂时间45s,并启动,将PEDOT:PSS溶液从上方的滴液口逐渐滴在PET衬底上; S4、退火:取出旋涂后的PEDOT:PSS种子层,置于真空干燥箱内,设置温度在150℃下下进行退火,退火时间设置为10min,得到PEDOT:PSS薄膜; S5、靶材的预溅射:打开水冷机电源,关闭气体调节阀和放气阀,打开真空泵开关,使真空度下降到2Pa以下,旋钮气体调节阀稳定到4Pa左右,并保持5分钟使腔体内部充满氩气,打开直流电源进行预溅射; S6、在PEDOT:PSSPET衬底上溅射Cu膜:预溅射完毕后,移动样品至溅射位置,调节间距,设置溅射功率和溅射时间,进行溅射,停止溅射后依次关闭气体调节阀和真空泵手柄,逆时针旋转放气阀,之后取出样品;溅射完毕,转移至干燥箱干燥; S7、铜网格复合导电薄膜的制备:在纳秒脉冲激光器导入需直写的网格图案,设置参数,放置薄膜并调节焦距,之后开始直写至得到CuMeshPEDOT:PSS复合透明导电薄膜。
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