盖泽精密科技(苏州)有限公司周益初获国家专利权
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龙图腾网获悉盖泽精密科技(苏州)有限公司申请的专利一种用于晶圆膜厚检测的气浮减震器及系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223306217U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422550402.0，技术领域涉及：F16F15/02；该实用新型一种用于晶圆膜厚检测的气浮减震器及系统是由周益初;卢利军;周亭成;任杰设计研发完成，并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆膜厚检测的气浮减震器及系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆膜厚检测的气浮减震器及系统，包括检测设备，所述检测设备的下端位置处固定有底板，所述固定柱的内部位置处套接有可进行上下移动的套接柱，所述底板的下端四角位置处安装有可转动螺纹筒，本装置在检测设备的下端四角位置处安装有可转动螺纹筒，可转动螺纹筒以上端位置处的转动轴为圆心轴进行转动，当可转动螺纹筒与气浮减振器上端位置处的螺栓柱进行接触时，转动可转动螺纹筒使得螺栓柱完全进入到可转动螺纹筒的内部位置处，这样就完成了检测设备与气浮减震器的安装，简化的安装方式降低了操作人员在连接过程中出现错误的可能性，使得气浮减震器在安装完成后可正常进行工作。
本实用新型一种用于晶圆膜厚检测的气浮减震器及系统在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆膜厚检测的气浮减震器，其特征在于，包括检测设备12，所述检测设备12的下端位置处固定有底板13，所述底板13的下端在位于四角位置处固定有固定柱15，所述固定柱15的内部位置处套接有可进行上下移动的套接柱16，所述底板13的下端四角位置处安装有可转动螺纹筒14，所述可转动螺纹筒14通过固定在上端位置处的转动轴17安装在底板13的下端位置处，所述可转动螺纹筒14的内侧位置处安装有螺栓柱6，所述螺栓柱6的下端位置处固定有固定板5，所述固定板5的上端在位于左右两侧位置处设置有插入孔7； 所述插入孔7的下端位置固定有上层护板9，所述上层护板9的上端位置处设置有橡胶垫8，所述上层护板9的下端在位于四角位置处设置有阻尼柱2，所述阻尼柱2的下端位置处固定有下层护板10，所述下层护板10的上端在位于中间位置处设置有压缩空气腔1，所述压缩空气腔1的前端位置处设置有气门嘴11。
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