日铁新材料股份有限公司;日铁化学材料株式会社山田隆获国家专利权
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龙图腾网获悉日铁新材料股份有限公司;日铁化学材料株式会社申请的专利Al接合线获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113557596B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080020170.X,技术领域涉及:H01L21/60;该发明授权Al接合线是由山田隆;西林景仁;榛原照男;小田大造;江藤基稀;小山田哲哉;小林孝之;宇野智裕设计研发完成,并于2020-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本Al接合线在说明书摘要公布了:提供一种Al接合线,其在使用Al接合线的半导体装置工作的高温状态下,充分地得到接合线的接合部的接合可靠性。该Al接合线的特征在于,由Al或Al合金构成,垂直于导线轴的方向的芯材截面中的平均晶粒直径为0.01~50μm,在对于垂直于导线轴的方向的芯材截面测量晶体取向的结果中,导线长度方向的晶体取向之中,相对于导线长度方向角度差为15°以下的晶体取向<111>的取向比率为30~90%。
本发明授权Al接合线在权利要求书中公布了:1.一种Al接合线,其特征在于, 由Al或Al合金构成,Al含量为95质量%以上,垂直于导线轴的方向的截面中的平均晶粒直径为0.01~50μm,所述平均晶粒直径使用EBSD的测量方法求得各晶粒的面积,采用将各晶粒的面积视为圆时的直径的平均, 在对于垂直于导线轴的方向的截面测量晶体取向的结果中,导线长度方向的晶体取向之中,相对于导线长度方向角度差为15°以下的晶体取向<111>的取向比率为30~90%,晶体取向<111>的取向比率的测量中使用EBSD,将垂直于导线轴的方向的芯材截面作为检查面,利用附属于装置的解析软件,计算晶体取向<111>的取向比率, 导线线径为50~600μm。
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