ASML荷兰有限公司罗映获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于聚焦带电粒子束的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113614872B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980086941.2，技术领域涉及：H01J37/147；该发明授权用于聚焦带电粒子束的系统和方法是由罗映;董仲华;殷学会;狄隆;邓年沛;方伟;浦凌凌;费若冲;朱博航;刘瑜设计研发完成，并于2019-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于聚焦带电粒子束的系统和方法在说明书摘要公布了：公开了一种带电粒子束系统300。带电粒子束系统包括平台201，该平台被配置为保持样本203并且能够在X‑Y‑Z轴中的至少一个轴上移动。带电粒子束系统还包括用于确定平台的横向位移和竖直位移的定位感测系统350,340以及束偏转控制器367，该束偏转控制器367被配置为：施加第一信号，以将入射在样本上的初级带电粒子束330偏转来至少部分地补偿横向位移；以及施加第二信号，以调整入射在样本上的经偏转的带电粒子束的焦点来至少部分地补偿平台的竖直位移。第一信号和第二信号可以包括分别具有在10kHz至50kHz以及50kHz至200kHz的范围中的高带宽的电信号。另外，公开了一种非暂时性计算机可读介质，包括用于使装置300执行方法的指令的集合，装置包括带电粒子源310以生成初级带电粒子束314,330，该方法包括：确定平台201的横向位移，其中平台能够在X‑Y轴中的至少一个轴上移动；以及指示控制器367施加第一信号，以使入射在样本203上的初级带电粒子束偏转来至少部分地补偿横向位移。
本发明授权用于聚焦带电粒子束的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子束系统，包括： 平台，被配置为保持样本并且能够在X-Y和Z轴上移动； 定位感测系统，被配置为确定所述平台的横向位移和竖直位移；以及 控制器，被配置为： 施加第一信号，以使入射在所述样本上的初级带电粒子束偏转来至少部分地补偿所述平台的所述横向位移；以及 施加第二信号，以调整入射在所述样本上的经偏转的带电粒子束的聚焦来至少部分地补偿所述平台的所述竖直位移，其中所述竖直位移对应于所述平台在所述Z轴上的目标定位和所述平台的当前定位之间的差。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号