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龙图腾网获悉湖州运稳智能科技有限公司申请的专利一种晶圆盒缓存仓获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120356855B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510840706.7，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种晶圆盒缓存仓是由李天晖;李天曦设计研发完成，并于2025-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆盒缓存仓在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆盒缓存仓，涉及晶圆技术领域，包括：仓体，其内部形成有容置空间，且容置空间内设置有温度传感器，所述仓体的左右两侧分别开设有与容置空间连通的进口和出口；在容置空间内，靠近进口一侧为送料区、靠近出口一侧为取料区、取料区和送料区之间为缓存区，缓存区正面和背面的一侧均为活动区；送料传送组件，其固定装配于送料区，用于从进口处接收并输送晶圆盒至送料区；取料传送组件，其固定装配于取料区，用于将晶圆盒从出口输送至仓体外部。本发明通过结构创新与功能集成，在半导体制造领域中实现了晶圆缓存仓的高效化、智能化与高可靠性设计，为半导体制造的物料传输环节提供了突破性技术方案。

本发明授权一种晶圆盒缓存仓在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒缓存仓，其特征在于，包括： 仓体（1），其内部形成有容置空间（11），且容置空间（11）内设置有温度传感器，所述仓体（1）的左右两侧分别开设有与容置空间（11）连通的进口（12）和出口（13）；在容置空间（11）内，靠近进口（12）一侧为送料区（111）、靠近出口（13）一侧为取料区（112）、取料区（112）和送料区（111）之间为缓存区（113），缓存区（113）的正面和背面一侧均为活动区（114）； 送料传送组件（2），其固定装配于送料区（111），用于从进口（12）处接收并输送晶圆盒至送料区（111）； 取料传送组件（3），其固定装配于取料区（112），用于将晶圆盒从出口（13）输送至仓体（1）外部； 缓存架（4），其固定装配于缓存区（113），所述缓存架（4）前侧和后侧均阵列分布有若干个晶圆缓存腔（5），每个晶圆缓存腔（5）内均安装有静电消除器； 两组机械手（6），分别对称装配于两个活动区（114）内，所述机械手（6）包括XZ轴直线模组（61）、移动平台（62），及沿Y轴方向滑动安装于移动平台（62）上的操作部（63），所述XZ轴直线模组（61）用于驱使所述移动平台（62）沿X轴和Z轴方向移动，所述操作部（63）用于取放晶圆缓存腔（5）内的晶圆盒； 所述移动平台（62）水平固定安装于滑动套座（621）的一侧，所述操作部（63）包括通过导向滑轨滑动安装于移动平台（62）中间位置处的移动座（631）、设置在移动平台（62）顶部靠近缓存腔一侧的转移槽（632）、安装于移动座（631）顶部的操作板（633），以及用于驱动移动座（631）沿导向滑轨长度方向滑动的带式传动机构（7），所述转移槽（632）具有一水平的承载面（6321）和对称设置在承载面（6321）两侧的侧限位面（6322），所述操作板（633）一端安装在移动座（631）的顶部，操作板（633）的另一端延伸至转移槽（632）上方位置处，且操作板（633）底部远离移动座（631）的一端垂直设置有拉板（6331），拉板（6331）与移动座（631）之间安装有推板（6332），所述推板（6332）、拉板（6331）、转移槽（632）合围形成对晶圆盒限位的限位空间； 所述带式传动机构（7）包括沿Y轴方向转动安装在移动平台（62）一侧的主动齿轮（71）和从动齿轮（72），及套设在主动齿轮（71）和从动齿轮（72）之间的皮带（73），所述皮带（73）内侧设置有与主动齿轮（71）和从动齿轮（72）的啮合的齿牙，所述移动座（631）通过连接构件与皮带（73）固定连接； 所述操作板（633）通过液压抬升组件（8）安装于移动座（631）上，所述液压抬升组件（8）包括L型液压壳（81）、及分别滑动设置在液压壳体内两端的抬升轴杆（82）和触发轴杆（83），所述L型液压壳（81）包括沿Y轴方向设置的第一直线段（811），及连接在第一直线段（811）底端并沿X轴方向设置的第二直线段（812），所述第一直线段（811）内密封滑动设置有第一活动塞（821），所述抬升轴杆（82）垂直固定在第一活动塞（821）顶部，且抬升轴杆（82）的顶端与操作板（633）固定连接，所述第二直线段（812）内密封滑动设置有第二活动塞（831），所述触发轴杆（83）固定在第二活动塞（831）远离第一活动塞（821）的一侧，且触发轴杆（83）远离第二活动塞（831）的一端与连接构件转动连接。

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