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龙图腾网获悉杭州星原驰半导体有限公司申请的专利一种固态前驱体输送系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119932535B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510185650.6，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种固态前驱体输送系统和方法是由朴载成;陈培杰;邵大立;林男奎;金荣宽;齐彪;史皓然;陈扬;夏智兴设计研发完成，并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种固态前驱体输送系统和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种固态前驱体输送系统和方法，包括前驱体源瓶、源瓶阀组、前驱体预气化管路、缓存器、惰性气体管路、第一预热装置、第一质量流量计、第二预热装置和反应腔体，源瓶阀组安装在前驱体源瓶的出入端上，前驱体预气化管路与源瓶阀组的出口端相连接，前驱体预气化管路和惰性气体管路分别与缓存器的两进气端连接，缓存器通过管道与反应腔体连接，第一预热装置、第一质量流量计、第二预热装置均安装在管道上，第一预热装置位于第一质量流量计的前端，第二预热装置位于第一质量流量计的后端，第二预热装置位于反应腔体的入口端，解决了固态前驱体升华不充分会堵塞管路和进入反应器前未完全气化的前驱体颗粒会对工艺腔体造成污染的问题。

本发明授权一种固态前驱体输送系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种固态前驱体输送系统，包括前驱体源瓶1、源瓶阀组2、前驱体预气化管路3、缓存器4、惰性气体管路5、第一预热装置6、第一质量流量计7、第二预热装置8和反应腔体9，其特征在于，所述源瓶阀组2安装在所述前驱体源瓶1的出入端上，所述前驱体预气化管路3与所述源瓶阀组2的出口端相连接，所述缓存器4设有两个进气端，所述前驱体预气化管路3和所述惰性气体管路5分别与所述缓存器4的两进气端连接，所述缓存器4通过管道与所述反应腔体9连接，所述第一预热装置6、第一质量流量计7、第二预热装置8均安装在管道上，所述第一预热装置6位于所述第一质量流量计7的前端，所述第二预热装置8位于所述第一质量流量计7的后端，所述第二预热装置8位于所述反应腔体9的入口端，所述的第一预热装置6和第二预热装置8的结构相同；所述第一预热装置6包括气流通道61，加热丝62和反射板63，所述气流通道61的腔体为可透光的石英材质，所述气流通道61内设置有交错的挡板64，所述挡板64焊接在所述气流通道61上，所述加热丝62设置在气流通道61的两侧，所述反射板63设置在加热丝62的外侧，所述加热丝62产生热辐射传递给所述气流通道61内的工艺气体，所述气流通道61上还设置有温度传感器。

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