安徽安努奇科技有限公司周志虎获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽安努奇科技有限公司申请的专利一种体声波谐振器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119561517B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510128207.5，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权一种体声波谐振器及其制备方法是由周志虎;何军设计研发完成，并于2025-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种体声波谐振器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种体声波谐振器及其制备方法，涉及微机电系统技术领域，本申请的体声波谐振器，包括衬底以及依次设置于衬底上的底电极、压电层和顶电极，衬底内形成有声反射结构，底电极、压电层、顶电极以及声反射结构在衬底上的投影重叠的区域为有效谐振区，在有效谐振区边缘，顶电极向上弯曲与压电层之间形成间隙，顶电极上表面上形成有加强结构，加强结构的导电率大于顶电极的导电率，且加强结构在衬底上的投影大于等于间隙在衬底上的投影。本申请提供的体声波谐振器及其制备方法，能够提高体声波谐振器的Q值以及可靠性。
本发明授权一种体声波谐振器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括衬底以及依次设置于所述衬底上的底电极、压电层和顶电极，所述衬底内形成有声反射结构，所述底电极、所述压电层、所述顶电极以及所述声反射结构在衬底上的投影重叠的区域为有效谐振区，在所述有效谐振区边缘，所述顶电极向上弯曲与所述压电层之间形成间隙，所述顶电极上表面上形成有加强结构，所述加强结构的导电率大于所述顶电极的导电率，且所述加强结构在所述衬底上的投影大于等于所述间隙在所述衬底上的投影；所述顶电极上还设置有钝化层，所述加强结构与所述钝化层同层设置，所述顶电极跨过所述间隙形成焊盘，所述加强结构包括设置于间隙上的加强部和设置于所述焊盘上的连接部；所述顶电极包括设置于有效谐振区的电极部以及设置于所述间隙上的跨接部，所述加强结构与所述跨接部材料相同，且均不同于所述电极部。
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