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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种极紫外波段整机传函测试装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119533871B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411736450.7，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权一种极紫外波段整机传函测试装置及方法是由李欣锴;何玲平;陈波;宋克非;张广;任帅;张宏吉;王海峰;沈亨;门树东设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种极紫外波段整机传函测试装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光学检测技术领域，具体提供一种极紫外波段整机传函测试装置及方法，包括光源系统、平行光管、刀口靶标、二维平移台、成像仪以及真空罐，光源系统包括用于产生极紫外波段光束能量来源的激光器和用于产生极紫外波段连续谱线的金属靶，刀口靶标设置在二维平移台上，刀口靶标安装在平行光管的焦面位置，利用激光等离子体光源出射具有连续谱线的极紫外光束，使用具有成像仪同波段的平行光管，出射特定极紫外波段光束，将锐利刀口粘贴在平行光管焦面处，达到真空度后，点亮光源，移动二维平移台寻找光斑最强位置并采集图像并对图像进行计算分析，得到成像仪的MTF曲线，该方法适用于测试所有极紫外波段有响应成像仪的MTF测试，操作简单。

本发明授权一种极紫外波段整机传函测试装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种极紫外波段整机传函测试装置，其特征在于，包括光源系统、平行光管、刀口靶标、二维平移台、成像仪以及为测试装置中所有设备提供目标真空度的真空罐，所述光源系统包括用于产生极紫外波段光束能量来源的激光器和用于产生极紫外波段连续谱线的金属靶，所述刀口靶标设置在所述二维平移台上，所述刀口靶标安装在所述平行光管的焦面位置； 在粗对准阶段下，将可见光光源放置在所述激光器的位置，根据前透镜焦距初步确定透镜位置，移动所述二维平移台使得所述刀口靶标接近所述光源系统的出光位置，使得所述成像仪接收到所述刀口靶标； 在测试阶段下，将所述激光器替换所述可见光光源，测试装置中所有设备拧紧并检查是否存在漏气现象，将所述真空罐的真空度调整至目标真空度，开启所述激光器，再次调节所述前透镜的透镜位置使得所述激光器的极紫外波段出射光束最亮，调节所述二维平移台上所述刀口靶标在平移方向上的位置，使得所述刀口靶标的刀口位置对准所述极紫外波段出射光束的最亮位置，所述极紫外波段出射光束经过所述平行光管出射到所述成像仪上，所述成像仪开机并采集预定曝光时间的所述刀口位置图像，将所述平行光管和所述成像仪之间的阀门关闭，所述成像仪采集暗场图像，将所述刀口位置图像减去所述暗场图像得到待处理刀口图像，对所述待处理刀口图像进行分析得到所述成像仪调制传递函数MTF曲线。

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