应用材料公司M·嘉德瑞获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利基板变形检测和校正获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112106179B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980030330.6，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权基板变形检测和校正是由M·嘉德瑞设计研发完成，并于2019-04-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板变形检测和校正在说明书摘要公布了：公开了用于检测和校正进入基板变形的方法和设备。将基板定位在第一工艺腔室中，在第一工艺腔室中检测基板弯曲的存在和类型。基于基板弯曲检测、以及基板是否具有压缩弯曲或拉伸弯曲的确定，来选择用于执行的基板处理程序。可在第一工艺腔室中或在第二工艺腔室中执行基板处理程序，以在基板的进一步处理之前或期间校正或减轻弯曲。
本发明授权基板变形检测和校正在权利要求书中公布了：1.一种用于基板处理的方法，包括： 在第一工艺腔室中生成等离子体，同时将基板定位在所述第一工艺腔室中； 基于在所述第一工艺腔室中的多个传感器来生成所述基板的指纹，其中所述指纹被定义为用于在所述第一工艺腔室中生成所述等离子体的功率的曲线图，并且其中所述指纹是通过监测所述基板的反射功率来生成的； 将所述指纹与多个存储的指纹模型进行比较，以确定所述基板是否变形；以及 基于确定所述基板是变形的，选择用于所述基板的基板处理程序以校正所述基板变形。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号