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龙图腾网获悉富时精工(南京)有限公司申请的专利一种设有聚焦组件的真空镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120485726B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510984550.X，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种设有聚焦组件的真空镀膜设备是由李冰妍;陈舟设计研发完成，并于2025-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种设有聚焦组件的真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种设有聚焦组件的真空镀膜设备，涉及真空镀膜设备领域，包括真空镀膜本体，所述真空镀膜本体内固定有传输机构，所述传输机构包括固定在真空镀膜本体内的电机，所述电机的输出端与旋转轴相互连接，所述旋转轴上固定有输送轮，所述真空镀膜本体内安装有磁控溅射靶；清理机构，用于输送轮表面异物的清理。该设有聚焦组件的真空镀膜设备，采用可调节的偏压机构与弹性铜片配合，可以在基板镀膜过程中，使得基板处于负极电场内，通过负极电场可以有效吸引游离的正极带电粒子向基板进行聚集，从而实现游离的正极带电粒子的聚焦作用，进而有效保证基板镀膜的均匀性，且可以有效提高靶材产生的正极带电粒子的利用率。

本发明授权一种设有聚焦组件的真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种设有聚焦组件的真空镀膜设备，包括真空镀膜本体，其特征在于：所述真空镀膜本体内固定有传输机构，所述传输机构包括固定在真空镀膜本体内的电机，所述电机的输出端与旋转轴相互连接，且相邻两个旋转轴之间通过齿轮和带齿配合实现传动，所述旋转轴上固定有输送轮，所述真空镀膜本体内安装有磁控溅射靶； 清理机构，用于输送轮表面异物的清理，所述清理机构设置在传输机构下方，且清理机构由传输机构驱动； 载料机构，用于实现基板的限位输送，所述载料机构与输送轮接触，所述载料机构包括与输送轮接触的载具，且载具上固定有限位座，并且限位座与基板相互连接，同时限位座上转动连接有限位板，所述限位板与限位座之间连接有扭簧，且限位板与基板接触实现定位，并且两个限位座之间通过弹性铜片相互连接，同时弹性铜片左右两侧均为斜面结构； 限位机构，用于实现载料机构的位置限定，所述限位机构与真空镀膜本体相互连接，所述限位机构包括设置在真空镀膜本体内的活动架，且活动架凹面一侧安装有可滚动的滚珠，并且滚珠与载具接触滚动； 偏压机构，通过与弹性铜片配合形成电场实现聚焦作用，所述偏压机构安装在真空镀膜本体内，所述偏压机构与载料机构相互连接； 偏压机构包括设置在真空镀膜本体内的安装板，且安装板上安装有支撑板，并且支撑板与弹性铜片的位置相互对应，同时支撑板的宽度大于与弹性铜片的宽度，所述安装板上还安装有偏压板，且偏压板与真空电子器件阴极相互连接，并且偏压板双排等间距分布有三组，同时相邻两个偏压板之间的距离小于弹性铜片的宽度。

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